판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #9026273

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7 (TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7) 은 반도체 업계의 가장 정교한 요구를 충족시키기 위해 설계된 고급 기능을 갖춘 포토 esist 장비입니다. TEL MARK7은 CCI (Controlled Collimated Illumination), AUC (Advanced Uniformity Control) 및 패턴 생성 기능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON MARK-7의 CROLLED CCI (Controlled Collimated Illumination) 시스템은 넓은 사진 리토 그래피 영역에서 가장 일관된 조명 패턴을 제공합니다. "통일성 '을 유지하고" 패턴 카운트' 를 줄여 결함을 줄여 장치 리소그래피 프로세스를 개선하는 데 도움이 된다. 조명, 레이저 정렬 장치 및 ACA (Auto Collimator Alignment) 의 고유한 가변 각도와 같은 기능은 기계의 가장 정확하고 반복 가능한 설정을 제공합니다. TEL Mark 7의 AUC (Advanced Uniformity Control) 머신은 수동 정렬이 필요하지 않습니다. 감광 공정 (photosensitive process) 중 가장 균일한 광원 패턴을 보장하여 수율 및 장치 성능이 향상됩니다. 또한 TOKYO ELECTRON MARK7에는 photoresist 생성이 복잡한 모양과 패턴을 쉽게 렌더링 할 수있는 고급 패턴 생성 기능이 포함되어 있습니다. 패턴 회전, 돌출 및 미러링과 같은 기능은 TEL/TOKYO ELECTRON MARK7을 장치 리소그래피를위한 강력한 도구로 만듭니다. 미세 노출 비율 제어를 위한 노출 단계 제어 (Exposure Step Control), 반사 패턴을 줄이고 대비를 향상시키는 편광 조명 (Polarized Illumination) 과 같은 다른 기능도 Mark 7에서 찾을 수 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 TEL MARK-7은 장치 리소그래피에 더 큰 유연성과 성능을 제공할 수 있습니다. 또한 결함 감지를 위한 이미지 처리 모듈 (Image Processing Module for detection of defects) 및 포토리스 프로세스 품질을 모니터링하는 VIM (Video Inspection Module) 과 같은 다양한 분석 도구를 제공합니다. 무엇보다도, MARK-7은 가장 정확하고 반복 가능한 설정, 최고의 품질 패턴, 더 적은 결함으로 더 낮은 패턴 수 (pattern count) 를 제공하는 고도의 포토리스 (photoresist) 도구입니다. 고급 기능, 우수한 품질 장비 및 TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7의 뛰어난 성능으로, 장치 리소그래피에 이상적인 선택입니다.