판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 7 #293819130

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 7은 전자 회로의 미세 선 너비, 좁은 공간 및 고해상도 패턴을 해결하도록 설계된 포토리스 (photoresist) 장비입니다. 이 시스템은 강력한 빔 형성 장치, 빔 디플렉션 및 측정 시스템, 레이저 광학 및 광학 부품, 스캐닝 미러, 정확한 위치화를 위한 모션 제어 시스템으로 구성됩니다. 또한, 고급 자동화 및 프로세스 제어 시스템은 차세대 반도체 장치 (semiconductor device) 의 요구를 충족시키기 위해 정확한 운영 및 안정적인 생산을 보장합니다. TEL MARK7 내의 빔 개발 머신 (Beam Development Machine) 은 일련의 고출력 레이저 다이오드를 특징으로하여 패턴화를 위해 조정되고 세심한 모양의 출력을 생성합니다. 선은 조절 가능한 DC 주사 수직 스케일 레이저 다이오드 어레이 및 조절 가능한 레이저 다이오드 바이어스 전류를 사용하여 진폭으로 미세 집중 및 감쇠 할 수 있습니다. 그런 다음, 원통형 렌즈의 3 각 도구를 사용하여 출력을 더 조정할 수 있습니다. 원통형 및 고성능 위치 컨트롤러로 제어합니다. 이러한 컴포넌트는 좁은 선 너비와 매우 정확한 빔 배치 (beam placement) 로 집중된 2 차원 빔을 정확하게 형성 할 수 있습니다. 자산 내의 레이저 광학은 빔 생성 및 편향을 최적화하도록 설계되었습니다. 광학 경로 레이아웃은 균일 한 조명, 낮은 왜곡, 광범위한 스캔 필드에 최적화되어 있습니다. 고성능 미러 (High Performance Mirror) 는 빔 편향 속도를 높여 원하는 위치로 빠르게 이동할 수 있도록 합니다. 또한, 고정밀 각도 거울은 정확도를 유지하면서 광범위한 빔 방향을 허용합니다. 도쿄 전자 MARK-7 (TOKYO ELECTRON MARK-7) 의 스캐닝 및 모션 제어 시스템은 필요한 패턴을 생성하기 위해 빔의 정확하고 낮은 노이즈 스캐닝을 제공합니다. 일련의 고성능 서보 모터가 정확한 동작 (motion) 을 위해 동기화되며, 모션 컨트롤러는 고속 샘플링 (sampling) 및 미세 해상도 제어 (fine resolution control) 기능을 제공합니다. 이 모델은 포토리스트 (photoresist) 에서 원하는 포커스, 속도, 강도에 정확하게 빔을 배치할 수 있습니다. 마지막으로, TEL/TOKYO ELECTRON MARK-7 내의 프로세스 제어 시스템은 차세대 반도체 장치의 요구를 충족시키기 위해 높은 수준의 생산 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 소프트웨어가 제어하는 포토리스트 및 프로세스 프로세스를 통해 유지 보수 없이 작업을 수행할 수 있습니다. 포토 esist 오염을 방지하기 위해 피드백 (feedback) 장비가 장착되어 있으며 사진 정지 정확성을 보장하는 피드백 (feedback) 회로도 제공됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON MARK7 포토 esist 시스템은 좁은 선 너비, 좁은 공간 및 균일 한 조명을 가진 고해상도 이미지를 제공 할 수있는 강력한 장치입니다. 강력한 빔 포밍 머신, 빔 디플렉션 및 측정 시스템, 레이저 옵틱, 스캐닝 미러 및 모션 컨트롤러, 고급 자동화 및 제어 시스템 (고급 자동화 및 제어 시스템) 은 정확한 작동과 안정적인 생산을 보장합니다.