판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5z #9222497

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5z는 반도체 제조의 개발, 전송, 에칭 및 분석 프로세스에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 유전체, 금속 및 포토 esist 레이어에 대한 리소그래피 기능을 제공합니다. 고급 5 배 광학 줌 장치 (Optical Zoom Unit) 가 장착되어 있어 포토 Esist 기능을 정확하게 타겟팅 할 수 있습니다. 이 기계는 UV 노출 모듈 (UV Exposure Module) 과 높은 처리량 어플리케이션을 위해 높은 정확도와 빠른 노출 시간을 제공하는 UV 스테퍼 (UV Stepper) 를 추가로 갖추고 있습니다. 이 도구는 이미지 인식에 고해상도 스캐닝 에셋 (scanning asset) 을 사용하며 낮은 소음으로 신속하게 이미지를 얻을 수 있습니다. 또한 사전 정렬, 자동 기울기 (auto-tilt) 및 자동 웨이퍼 간 정렬 (auto wafer-to-wafer alignment) 을 통해 피쳐를 정확하게 타겟팅할 수 있습니다. TEL Mark 5z의 산출물은 현재 반도체 리소그래피 프로세스의 요구를 초과합니다. 통합 이미지 측정 (Integrated Image Measurement) 기능을 통해 완벽한 이미지 정확도에 맞게 최적의 정확도로 부드러운 작업 흐름을 제공합니다. 이 모델에는 환경 조건이 바뀌더라도 photoresist 레이어의 "대상 (on-target)" 에 유지되도록 자동 초점 조정 메커니즘이 추가로 장착되어 있습니다. 안전 면에서 TOKYO ELECTRON Mark 5z (Tokyo ELECTRON Mark 5z) 는 안전한 용도로 설계되었으며, 특정 요구와 조건에 맞게 조정할 수있는 여러 안전 수준이 있습니다. 이 장비는 실드 도어 (sealed door) 가있는 특수 방진 (anti-vibration) 구조를 사용하여 작업 중 사용자와 장비를 보호하고 환경 오염이 챔버 (chamber) 또는 레티클 (reticle) 지역으로 들어가는 것을 방지합니다. 이 시스템은 또한 공기 정화 장치 (Air purification unit), UV 불투명도 센서 (UV opacity sensor) 및 이온 주입기 (ion injection machine) 와 같은 환경 보호 기능을 제공하여 포토레스 레이어의 깨끗하고 안전한 작동을 보장합니다. 마지막으로, Mark 5z 는 다양한 기능을 갖춘 포괄적인 사용자 인터페이스 툴을 제공하여 간편한 패턴 프로그래밍 및 운영 매개변수 모니터링 (monitoring of operational parameter) 을 지원합니다. 또한 네트워크 기능을 통해 사용자는 원격 위치에서 시스템 상태, 운영 매개변수, 패턴 프로그래밍 (pattern programming) 정보에 원격으로 액세스할 수 있습니다. 결론적으로 TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5z는 유전체, 금속 및 photoresist 레이어 응용 분야에 대한 최대 정밀도, 정확도 및 안전을 제공하는 고급 photoresist 자산입니다. UV 노출 모듈 (UV Exposure Module) 과 UV 스테퍼 (UV Stepper) 를 통해 높은 처리량 어플리케이션을 손쉽게 처리할 수 있으며, 이미지 통합 측정 기능을 통해 이미지 정확도를 최적화하여 원활하게 작동할 수 있습니다. 또한, 이 모델은 다양한 안전 수준 (Safety Level) 및 환경 보호 기능을 통해 안전한 운영을 보장하며, 시스템 상태, 운영 매개변수, 패턴 프로그래밍 정보의 원격 액세스를 위한 포괄적인 사용자 인터페이스 장비 (User Interface Equipment) 및 네트워킹 기능을 갖추고 있습니다.