판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Mark 5 #9394083

TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5 포토 esist 장비는 반도체 제조 공정의 중요한 구성 요소이며, 주요 응용 프로그램은 미세 피치 광학 패턴 및 고밀도 상호 연결의 개발을 중심으로합니다. TEL Mark 5 (TEL Mark 5) 는 광범위한 기판에 대한 저항 이미지 개발을 지원하여 광학 패턴 이미지를 최적화 할 수 있습니다. 시스템은 노출 장치 (Exposure Unit) 와 제어 콘솔 (Control Console) 의 두 부분으로 구성됩니다. 노출 기계는 통합 미러 패널, 램프 하우징 (lamp housing) 및 렌즈 마운트 (lens mount) 및 스캐닝 도구가있는 광학 테이블로 구성됩니다. 광학 테이블은 광학 자산을 위한 평평하고 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 거울 "패널 '은" 레이저' 원 의 "레이저 '광선 이 거울" 패널' 에서 완전 히 반사 되도록 매우 정밀 하게 구성 되어 기판 의 중심 을 직접 노출 시킨다. 램프 하우징 (lamp housing) 은 레이저 및 렌즈 마운트 작동에 최적의 환경을 제공하는 반면, 렌즈 마운트 (lens mount) 는 노출 과정에 필요한 렌즈의 최적의 위치를 보장합니다. 스캐닝 모델에는 레이저 소스, 반사 거울 및 갈보 거울이 포함됩니다. "레이저 '원 은" 빔' 의 균일성, 명도 및 정확도 가 뛰어난 광범위 한 파장 을 발산 할 수 있다. 반사 미러 (Reflecting Mirror) 는 일련의 스캐닝 라인을 생성하여 기판을 정확하게 정렬할 수 있게 하고, 갈보 미러 (galvo mirror) 는 처리량을 증가시키는 역할을 합니다. 제어 콘솔 장치는 TOKYO ELECTRON Mark 5 포토 esist 장비의 엔진 역할을합니다. 온도 조절 (Temperature Control) 과 안전 모니터 (Safety Monitor) 가 장착되어 있어 프로세스 매개변수를 이해하고 제어하는 데 필요합니다. 또한 내장형, 사용자 친화적 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 시스템 설정에 쉽게 액세스할 수 있으며, 고객의 요구 사항에 맞게 최적화할 수 있습니다. 또한, 제어 콘솔에는 다양한 단위 매개변수에 대한 자동 닫힌 루프 제어를 제공하는 PLC (programmable logic controller) 가 있습니다. 요약하면, Mark 5 photoresist 기계는 정밀도가 높은 광학 패턴을 개발하기위한 다재다능한 도구입니다. 이 제품은 정교한 노출 자산 (Exposure Asset) 과 강력한 제어 콘솔 (Control Console) 을 통해 다양한 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 고급 기능과 안정적인 성능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Mark 5는 오늘날의 반도체 제조업체를 위한 선택 모델입니다.