판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9399593
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텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 반도체 재료 처리에 관련된 마이크로 칩 및 기타 장치의 고속, 고정밀 생산을 가능하게하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 레이저 중심 광원 (Laser-focused Light Source) 을 사용하여 전통적인 방법으로 복제하기 어려운 패턴화 된 표면을 생성하는 포토리스 (Photoresist) 기술입니다. 이 단위는 여러 프로세스를 결합하여 패턴화된 서피스를 생성합니다. 이 과정의 첫 번째 단계에서, 반도체 물질은 얇은 광저항 층 (thin layer of photoresist) 으로 덮여 있으며, 이는 빛에 노출되어 굳어집니다. 다음으로, 저항층은 레이저 광원에 노출되어 기판에 패턴 화 된 절연 층 (patterned insulation layer) 을 생성합니다. 그런 다음, 추가 재료를 적용하여 이 패턴을 기판으로 전송합니다. TEL Lithius 기계는 전통적인 사진 분석 방법에 비해 몇 가지 장점을 제공합니다. 이러한 장점 중 가장 중요한 것은 보다 빠르고, 정밀도가 높은 결과를 제공하는 기능입니다. 이 도구를 사용하면 미크론의 약 1/4의 피치 정확도를 높일 수 있습니다. 이 자산은 또한 생산성을 향상시켜 전체적으로 프로세스 시간을 단축시킵니다. 이 모델은 또한 사용하기 쉬운 인터페이스 (interface) 와 빠른 프로토타입을 가능하게 하는 빠른 데이터 전송 속도 (fast data transfer rate) 를 통해 이점을 얻을 수 있습니다. 또한 내장형 장애 감지 (fault detection) 기능은 전체 프로세스에 대한 보다 뛰어난 제어 및 정확성을 제공합니다. 일본에 본사를 둔 TEL은 전 세계적으로 포토리토그래피 (photolithography) 및 반도체 제조 분야의 혁신가로 유명합니다. 이 회사는 이 지역에서 더 발전된 방법과 기술을 도입하는 데 앞장서고 있으며, TOKYO ELECTRON 리티우스 (Lithius) 장비는 업계에 대한 지속적인 약속을 나타냅니다. 리티우스 시스템 (Lithius system) 은 반도체 재료 생산에 사용될 때 높은 수준의 신뢰성, 일관성 및 정확성을 제공합니다. 보다 빠르고, 정확하고, 생산성이 향상되어, 반도체 생산에 매우 경제적인 솔루션이 됩니다. 손쉬운 사용자 제어 (User Control) 와 높은 전송 (Transfer) 데이터 전송률 (Data Rate) 을 통해 프로토타입과 대용량 생산에 모두 적합하므로 고급 포토레시스트 장치를 원하는 모든 회사에 적합한 선택입니다.
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