판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9397192
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ID: 9397192
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2005
System, 12"
Material / Chemical:
Operating system: LINUX / Windows
SMIF
Hard Disk Drive (HDD) missing
Process: HT-PYRO (1250C)
Safety: TEL Standard
Layout type: U/Box
Tool direction: LL
Front furnace body: Coating (FDP Standard)
Heater [Range of temperature]: High VMU-40-007EXT(41) [850-1250°C]
Process:
Pressure: ATM
Temperature: 1250°C
Wafer / Cassette transport:
SEMI Standard - Notch, 12"
T/S Wafer jump out detection
Fork type / Material: 1+4 / Al203
Wafer In / Out order: ED -> P -> M / M -> P -> ED
Cassette:
Miraial (MK-823S-H)
Slot: 26
Stocker: 21
Monitor cassette:
In P1, P2, M / Out P1, P2, M
Fork :
Wafer detection
Wafer displacement detection
Pitch conversion
Hardware composition:
Load module:
(4) TEL / SEMES Standard load ports
(1) TEL / SEMES Standard loader arms
Transfer module (platform):
(5) TEL / SEMES Standard transfer robot arms
Process module:
TEL / SEMES Chamber process module specification
(17) Pumps
RF Generator
Gas box
PC
Utility:
Distribution panel
THC
Chiller
(2) Chemical boxes
ETC
Parts and tool
Module:
(4) PM1 Soft bakes
(5) PM2 PEB
(5) PM3 Hard bakes
(3) PM4 ADH
(5) PM5 COT
(5) PM6 DEV
(1) PM7 WEE
(1) PM8
(1) PM9
Litho tool:
Lens
Laser
Light source
Alignment
Power
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 및 기타 전자 관련 부품의 제조 및 생산에 사용되는 최첨단 포토 esist 장비입니다. Photoresist는 다양한 microfabrication 및 photolithography 프로세스에 사용되는 빛에 민감한 폴리머입니다. TEL Lithius 시스템은 액정 디스플레이 (LCD) 이미지 세터, 정렬기, 스테퍼 도구 및 트랙 장치의 네 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. LCD 이미지세터는 고급 옵틱을 사용하여 고정밀 이미지 마스크를 생성합니다. 생성된 이미지 데이터 (레이아웃) 가 LCD 디스플레이에 프로그래밍됩니다. 그런 다음 레이아웃을 포토리스 스트 코팅 웨이퍼 (photoresist-coated wafer) 에 투영하고 석판 프로세스가 시작됩니다. 정확한 정확도를 보장하기 위해 LCD 이미지 세터는 8 배 배율로 테스트되었으며, 정렬 정확도는 1 미크론 (1 미크론) 보다 우수하며, 이는 정확한 구성 요소 생산에 중요합니다. 정렬기는 포토 esist 코팅 웨이퍼를 스테퍼 도구에 정확하게 배치하는 데 사용됩니다. 이것은 비전 머신 (vision machine) 과 웨이퍼 핸들러 (wafer handler) 로 수행되며, 둘 다 미리 정해진 일련의 단계에서 빠르고 정확하게 웨이퍼를 움직일 수 있습니다. 정렬 자는 또한 국소 전극 원자제 (LEA) 도구를 사용하여 포토 esist-coated 웨이퍼를 정렬하는 동안 패턴의 중단을 최소화합니다. 스테퍼 도구는 자산의 핵심입니다. 동력베이스, 정밀 스테이지 및 고해상도 현미경이있는 고급 스테퍼 헤드 (stepper head) 로 구성됩니다. 스테퍼 헤드 (stepper head) 는 조명을 제어하고 스테퍼 도구를 구동하는 역할을 맡고 있으며, 베이스는 웨이퍼의 안전하고 정확한 이동을 가능하게합니다. 현미경은 포토리스 스트 코팅 된 웨이퍼의 위치 지정 및 정렬을 허용하며, 크기 1 미크론의 10 분의 1 정도의 작은 이미징 기능을 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius 모델의 마지막 구성 요소는 트랙 장비입니다. 이것은 photolithographic 과정에서 사용되는 화학 물질의 분포를 담당합니다. 이 트랙은 andeveloper 및 photoresist와 같은 화학 물질을 정확한 순서대로 적절한 워크스테이션에 배포하는 플랫폼 시스템 (platform system) 입니다. 이는 생산 과정의 균일성과 정확성을 보장하는 데 도움이됩니다. 요약하자면, Lithius 유닛은 반도체 및 기타 전자 관련 부품 생산에 사용되는 최첨단 포토 esist 머신입니다. LCD 이미지 세터는 정확한 이미지 위치 지정 및 정렬을 제공하는 반면, 정렬 (aligner) 은 포토레시스트 코팅 웨이퍼의 정확한 위치를 용이하게 합니다. "스테퍼 '도구 는 정확 한 영상 과 조절 을 보장 해 주며," 트랙' 도구 는 화학 물질 을 질서 있고 균일 한 방식 으로 분배 한다. 이러한 구성 요소를 함께 사용하면 photoresist 코팅 된 구성 요소가 정확하고 효율적으로 생성됩니다.
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