판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9365931

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9365931
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Track system, 12" 2008 vintage.
TEL LASER TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TOKYO ELECTRON이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 풀 필드 노출 도구 (Full Field Exposure Tool) 와 수많은 부품을 빠르고 정확하게 제조 할 수있는 트랙 유닛 (Track Unit) 으로 구성된 시스템입니다. 먼저, Laser TEL Lithius 기계는 파장 405mm에서 거의 460mW의 광원을 제공하여 노출 시간이 빠르고 처리 속도가 빠릅니다. 레이저 정렬의 정확성은 또한 2mm 평방 면적에서 명확한 해상도와 0.4 "m '의 정확도와 200" pm' 미만의 왜곡을 제공합니다. 이것은 강렬한 정밀도가 필요한 제조 프로젝트에서 높은 정확도를 달성하기 매우 쉽습니다. 레이저 정렬은 소음이 매우 적습니다. 즉, HDI와 같은 높은 수준의 이미지 품질 (Fulage Quality) 을 가진 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. "레이저 '의 작은 반점 크기 는 단지 150" 미터' 내지 600 "미터 '에 불과 하다. 레이저 도쿄 전자 리티 우스 (Laser TOKYO ELECTRON Lithius) 의 노출은 정확하게 지시 될 수 있으며, 이 과정에서 높은 방향과 정확성이 필요한 수많은 패턴에 적합합니다. Photo Resist 코트는 Laser Lithius 도구로 매우 효율적입니다. photoresist는 두께가 최대 12m이며, 확산 폭은 최대 2 jm입니다. 이로써 완성된 제품과의 강력한 결합이 가능해지고, 더 좋은 품질의 이미지를 확보하고, 처리 과정에서 부품이 잘 연결되어 있고, 안정적일 수 있도록 합니다. Laser TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 자산에는 단일 샷에서 여러 번 노출 할 수있는 Digital Mulitplex 옵션도 있습니다. 이를 통해 처리 시간을 단축하고 부품 (Part) 의 처리량 (Throughput of Part) 을 높일 수 있으며, 다른 시스템 (Systems) 에 비해 높은 처리량을 확보할 수 있으며, 부품 생산의 유연성을 확보할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델에는 다양한 기능이 있어 수많은 프로세스에 이상적입니다 (영문). 이러한 기능에는 트랙 청결, Stress Relief Program (SRP), High Speed Data Transfer 및 Automatic Scope Selection (부품이 노출되어야 하는 부분의 자동 선택) 이 포함되어 있어 제조 공정의 효율성과 정확성이 향상됩니다. 전반적으로 TEL/TOKYO ELECTRON LASER TEL Lithius는 매우 강력한 포토 esist 장비로, 복잡한 부품 생산에 높은 수준의 정확성과 속도를 제공합니다. 신뢰성이 높고 다재다능하며, 강렬한 정밀도가 요구되는 부품 제조를 원하는 기업에게 이상적인 선택입니다 (영문).
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