판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9362659

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 장치 제조에 사용되는 포토 esist 장비입니다. 사진 마스크 (photomask) 와 장치 양산을 위해 특별히 설계된 고급 석판화 시스템입니다. 이 장치는 특허를 획득한 멀티빔 (multi-beam) 기술을 기반으로, 보다 작은 크기의 기능에서도 고밀도 패턴화를 가능하게 합니다. 이 기계는 또한 최대 5nm 해상도 (높은 처리율) 의 패턴을 생산할 수 있습니다. 이 도구는 스캐너, 노출 도구 및 이미징 자산으로 구성됩니다. 스캐너 (scanner) 는 제어된 방식으로 기판을 이미징 모델 위로 이동하여 원하는 패턴을 노출시킵니다. [노출 도구] 를 사용하면 패턴의 강도와 초점을 제어할 수 있습니다. 이것은 광범위한 프로세스 조건을 지원하면서 높은 정밀도를 보장합니다. 이미징 장비는 검출기, 이미지 프로세서 및 미세한 스테퍼 모터로 구성됩니다. 감지기는 photomask에서 패턴 정보를 수집하고 추출합니다. 그런 다음 이미지 프로세서는 데이터를 구성하고 조작하여 원하는 구조를 구성합니다. 그런 다음 미세한 스테퍼 모터는 이미징 시스템을 정렬하고 초점을 맞추어 고정밀 패턴화를 보장합니다. TEL Lithius 저항 단위는 또한 양성 및 음성 광사, 양성 톤 및 음성 톤 광사, 심지어 유기 광화학을 포함한 다양한 광화학자를 지원합니다. 또한 프로세스 제어 알고리즘을 손쉽게 통합하여 수익률을 극대화하고 비용을 절감할 수 있습니다 (영문). 마지막으로, 기계는 자동 오염 감지 도구, 응급 안전 셔터, 수동 보안 자산 (passive security asset) 과 같은 안전 기능으로도 설계되었습니다. 이러한 기능은 모델이 항상 안전하고 작동되도록 합니다. 전체적으로, TOKYO ELECTRON Lithius는 더 작은 기능 크기에서도 매우 고정밀 패턴을 제공 할 수있는 다재다능하고 신뢰할 수있는 포토 esist 장비입니다. 편리한 통합 프로세스 제어 알고리즘뿐만 아니라, 다양한 애플리케이션에 적합한 다양한 포토레시스트 (photoresist) 를 사용자에게 제공합니다. 마지막으로, 다양한 안전 (Safety) 기능이 제공되어 사용자가 모든 사고에 대비하여 안전하게 보호할 수 있습니다.