판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9358674

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9358674
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Coater / Developer system, 12" 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 제작을위한 포토 esist 장비입니다. 광저광증 (photoresist) 은 광민감성 폴리머 (light-sensitive polymer) 로, 방사선에 노출되면 화학 반응을 일으켜 성질이 반도체 산업에서 적용하기에 적합한 물질의 형태 변화를 겪는다. TEL Lithius 시스템은 반도체 산업의 리소그래피와 관련된 photoresist 프로세스를 전문으로합니다. 저항기 분해 프로젝터를 사용하여 적외선 광원으로 기판을 노출시킵니다. "프로젝터 '는 더 세밀 한" 레벨' 로 사진사 를 조사 하기 위하여 "레이저 스캐너 '를 장착 할 수 있다. 이 장치는 높은 정확도로 노출 시간, 광도 및 초점 정밀도를 제어합니다. 또한 정렬, 표면 결함 제어, 예비 치료 (pre-reatment) 와 같은 포토 esist를 제어 할 수 있습니다. 이 과정에서 온도와 습도 (degrees of temperate and humidity) 는 환경이 바뀌더라도 균일 한 결과를 보장하기 위해 엄격하게 제어됩니다. 노출 기계는 자동 어셈블리 라인과 통합 될 수 있습니다. 각 작업에 대한 사용자 정의 설정으로, 다양한 기판을 지원합니다. 적절한 구성으로 낮은 볼륨 생산에 사용할 수 있습니다. 이 제품은 레이저 빔 쓰기 (laser beam writing), 전자 빔 그리기 (electron beam drawing) 와 같은 고급 기술을 사용자에게 제공합니다. 최고의 품질 (Quality of Result) 을 보장하기 위해 이 툴은 현장에서 검증된 데이터 자산으로 설계되었습니다. 이를 통해 사용자는 노출 프로세스 (Exposure Process) 동안 실시간으로 액세스하고, 노출 후 (Post-Exposure) 데이터를 보안 모델로 검토할 수 있습니다. 이 장비는 높은 정확도, 높은 처리량, 제품 보안을 위한 데이터 보호 기능을 갖추고 있습니다. 컨셉트 (concept-to-manufacture) 애플리케이션에 이르기까지 다양한 분야에서 우수한 성과를 거두고 있습니다. 이 시스템은 사용자를 지원하기 위해 지속적인 기술 지원, 전문 컨설팅 서비스, 고급 (Advanced) 문제 해결을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Lithius photoresist 유닛은 모든 반도체 생산 환경에 이상적인 선택입니다. 이 제품은 높은 수준의 정확성, 생산에 대한 능률적인 접근 방식, 처리량 증가, 데이터 보안 등을 제공합니다. 선진적인 기능을 갖춘 "반도체 (semiconductor) '소자 제작을 위한 사진 해설을 필요로 하는 모든 응용프로그램을 위한 탁월한 선택이다.
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