판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9355521

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 광소시스트 (Photoresist) 는 패턴과 구조를 기판으로 에치 (etch) 하거나 발전시키기 위해 표면에 적용되는 빛에 민감한 물질입니다. TEL Lithius는 중요한 프로세스에 대한 최소 오염으로 정확한 기판 패턴을 제공하도록 제작되었습니다. 이 시스템의 핵심은 독자적 인 광원으로, 강도가 높은 직사광선 (DUV) 의 직사광선 (climated, uniform line) 을 생성합니다. 이 광원은 제어 된 양의 광학 에너지로 photoresist 레이어를 직접 노출시키는 데 사용됩니다. 그런 다음, 닫힌 루프 환경에서 기판의 패턴화를 수행하여 정확성과 최소 변형을 보장합니다. 도쿄 전자 리티 우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 에는 프로세스 매개변수를 최적화하기 위해 기판의 온도를 조절하는 자동 온도 보상 장치도 포함되어 있습니다. 컴퓨터는 모듈식 (modular) 으로, 사용자가 각 특정 응용 프로그램에 맞게 도구를 사용자 정의할 수 있습니다. 그것 은 여러 가지 형태 의 기판 을 처리 하도록 조정 된 여러 가지 "모듈 '과 함께 제공 된다. 이러한 모듈에는 진공 척, 스피너, 트랙 및 스캐너가 포함됩니다. 진공 척 (vacuum chuck) 은 기판을 옮기고 밀봉하는 플랫폼 역할을합니다. 광원이 360도 패턴으로 포토 esist를 비추면서 기판을 회전시키는 데 스피너 모듈 (spinner module) 이 사용됩니다. 트랙 모듈은 필요한 패턴으로 기판을 이동하는 데 사용됩니다. 광원 과 기판 의 위치 를 추적 하여 "기판 '을 정확 하게 이동 시킨다. 스캐너 모듈 (scanner module) 을 사용하여 대형 기판을 처리하여 매우 작은 패턴을 생성할 수 있습니다. Lithius의 자동 소프트웨어를 사용하면 특정 패턴 설정을 쉽게 프로그래밍 할 수 있습니다. 인공 지능 알고리즘을 사용하여 더 빠른 처리를 위해 최적화 된 설정을 제안합니다. 이 자산에는 복잡한 패턴을 빠르게 프로그래밍할 수있는 "Teach and Repeat" 기능도 포함되어 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 모델은 복잡하고 정확한 기판 패턴화를 위해 강력하고 신뢰할 수있는 도구가됩니다. 강력한 설계 및 다용도 모듈은 반도체 프로세싱에서 의료용 (medical application) 에 이르기까지 다양한 애플리케이션에 잘 적응합니다.