판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315797

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 장치 제조를위한 포토 esist 장비입니다. LED 기반 노출 모듈, '셔터' 모듈, 액정 장치 패턴 생성기, 광학 어셈블리, 웨이퍼 처리 시스템 등 고급 석판 처리 요소를 기반으로합니다. 이러한 구성 요소를 함께 사용하면 리소그래피 (lithography) 프로세스 동안 photoresist를 안정적이고 일관되게 전달할 수 있습니다. LED 기반 노출 모듈은 울트라 바이올렛 (Ultra-violet) 조명을 사용하여 웨이퍼 표면에 포토 esist를 노출시킵니다. 이 모듈은 매우 짧은 노출 시간으로 고품질 이미지를 제작할 수 있습니다. 이 외에도 광도 (light intensity) 를 정확하게 제어하여 더 작은 피쳐 크기에서도 포토 esist의 자세한 패턴화를 허용합니다. 셔터 모듈은 정확한 웨이퍼 정렬 및 노출 제어에 사용됩니다. 동력 장치 (Motorized Unit) 가 장착되어 있으며, 처리 중에 특정 영역이 노출되지 않도록 위치를 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 노출 과정에서 필요 없는 피쳐가 웨이퍼에 인쇄되지 않습니다. 액정 장치 패턴 생성기는 복잡한 photoresist 패턴화에 사용됩니다. 고속 (kHz) 액정 장치에 고공간 해상도 패턴 생성기 보드를 결합하여 작동합니다. 이 조합을 통해 패턴 균일성 (pattern unifority) 을 정확하게 제어할 수 있습니다. 따라서 웨이퍼에 균등하게 나타나는 패턴이 없습니다. TEL 리티우스 (TEL Lithius) 의 광학 어셈블리는 매우 높은 광도와 다양한 파장을 보장하는 고품질 렌즈와 보드로 구성되어 있습니다. LED 기반 노출 모듈과 결합하여 웨이퍼 (Wafer) 표면에 포토레지스트가 매우 부드럽고 노출되어 있습니다. 마지막으로, 이 도구의 웨이퍼 처리 기계 (wafer handling machine) 는 노출 과정에서 웨이퍼가 계속 유지되도록 합니다. 이 에셋에는 xyz 모션 스테이지가 있는 제어 자기장 (control magnetic field) 이 장착되어 있으며, 이 자기장은 정확한 웨이퍼 정렬 및 위치 지정에 사용할 수 있습니다. 이것은 리소그래피 프로세스 (lithography process) 동안 웨이퍼의 움직임이 패턴화에 영향을 미치고 성능의 편차를 초래하기 때문에 중요합니다. 결론적으로, 도쿄 전자 리티 우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 는 매우 진보 된 포토 esist 모델로, 웨이퍼 표면에 포토 esist를 안정적이고 일관되게 노출 할 수있는 고급 구성 요소 모음으로 구성됩니다. 생산할 수 있는 "패턴 '의 정확성 과 세부성 은 가장 복잡 한" 반도체' 제작 작업 에도 적합 하다.