판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9315052

텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 오늘날의 반도체 제조업체의 고정밀 요구 사항을 충족하도록 설계된 혁신적인 포토 esist 장비입니다. 이 photoresist 시스템은 저온 유연성과 다른 photoresist 시스템보다 향상된 차원 안정성을 제공하는 것으로 유명합니다. TEL 리티우스 (Lithius) 장치는 포토 마스크 또는 기타 템플릿에 노출 될 수있는 고해상도 광원으로 구성됩니다. 이 광원은 높은 정확도와 낮은 왜곡 (distortion) 을 제공하면서도 사용자가 신속한 노출을 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 그런 다음, 포토마스크 (photomasks) 노출을 사용하여 포토레지스트 (photoresist) 에서 특정 크기의 선 패턴을 형성하며, 이를 사용하여 웨이퍼 표면의 다양한 피쳐를 패턴화할 수 있습니다. 다음으로 TOKYO ELECTRON Lithius 기계를 사용하여 리소그래피를 개발하는 프로세스가 시작됩니다. 이것은 저온에서 작동하도록 설계된 고정밀 (high-precision) 처리 기계를 사용하여 수행됩니다. 이를 통해 웨이퍼 (wafer) 표면에 인쇄해야 할 가장 복잡한 구조에 대한 치수 안정성 (dimensional stability) 이 향상됩니다. 이 도구는 또한 일부 프로세스를 손상시킬 수있는 열 팽창 및 수축을 제거합니다. 리티 우스 (Lithius) 자산은 다른 포토 esist 프로세스와 비교할 때 우수한 해상도를 제공하도록 설계되었습니다. 이것 은 "콤플렉스 '의 특징 을 인쇄 하는 데 필요 한 저온 에서 작동 할 때 에도 최대 5" 마이크로 미터' 혹은 그 이하 의 동일 한 해상도 를 제공 할 수 있기 때문 이다. 즉, 사용자는 가장 복잡한 패턴을 매우 자세히 재현하여 매우 높은 품질의 이미지를 얻을 수 있습니다. 리소그래피 프로세스를 완료하기 위해 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 모델에는 작업장 조명의 부정적인 간섭을 줄이기 위해 설계된 기능도 있습니다. 이것 은 "웨이퍼 '표면 을 비스듬히 비스듬히 비스듬히 비추어놓고 직접 조명 해야 하는 경우 에 도움 이 되는데, 이것 은 매우 명백 한 그림 을 이루기 위해서이다. 전반적으로 TEL 리티우스 (TEL Lithius) 장비는 탁월한 해상도, 저온 유연성, 향상된 차원 안정성 및 다양한 어플리케이션에 적합한 고품질 마이크로 프로세서 (micro-processor) 를 제공하는 혁신적인 포토리스트 시스템입니다. 이것이 반도체 업계에서 지속적으로 인기를 얻고 있는 이유입니다.