판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9314371

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius와 같은 포토 esist 장비는 반도체 집적 회로 제조에 사용되는 기본 석판화 시스템입니다. 리소그래피 공정 (lithography process) 에서, 빛 에너지는 회로 패턴을 감광 막 (photoresist) 으로 옮기는 데 사용되며, 이어서 화학 과정을 통해 실리콘 웨이퍼 표면으로 전달된다. 이 프로세스는 회로 패턴의 여러 복제본을 효과적으로 생성합니다. TEL Lithius는 컴팩트하고 선형 인 움직임을 위해 설계된 포토 리토 그래피 기계입니다. 이 제품은 반도체 제작을 위한 고정밀도, 고속, 경제적인 솔루션으로, 빠른 주기 시간 (cycle time) 으로 패턴 전송을 지원합니다. 이 장치는 고도로 민감한 투영 정렬기 (projection aligner) 카메라와 자동화된 소프트웨어 머신 (software machine) 을 사용하여 회로 패턴이 포토레지스트로 정확하게 전송되도록 합니다. 이 도구에는 정확한 패턴 노출 설정을 위해 통합 모니터 및 제어 에셋이 장착되어 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius photolithography Machine은 정확한 sub-micron 해상도를 지원하므로 대용량 생산 실행에 적합합니다. 이 모델은 고정밀 스캐너 (High-Precision Scanner) 를 사용하여 광범위한 배율에서 정확한 노출 제어 (Exposure Control) 및 고급 도량형 장비 (Metrology Equipment) 를 사용하여 노출된 정렬 오류에 대한 신속한 피드백을 제공합니다. 이 시스템은 또한 고품질 photomask 패턴을 위한 고급 디지털 이미지 프로세싱을 갖춘 고속 쿼츠 (quartz) 이미징 장치를 갖추고 있습니다. Lithius는 반도체 제조를위한 신뢰할 수 있고 정확한 솔루션을 제공합니다. 매우 지능적인 컴퓨터로, 최소한의 비용으로 매우 정확한 결과와 높은 처리율을 제공합니다. 또한, 이 도구는 사용자 친화적이며 자체 진단이 가능하므로 복잡한 반도체 (semiconductor) 장치 생산에 귀중한 도구입니다.