판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9304426

텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 독특한 리소그래피 공정에 통합 된 비판적으로 설계된 화학 성분으로 구성된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 소자의 부피 생산에 적합하며, 고급 (advanced) 기능은 정확한 기하학과 높은 충실도 (fidelity) 로 패턴을 빠르게 제작하는 효과적인 도구입니다. 특히, TEL 리티 우스 (TEL Lithius) 는 독점적 인 감광 폴리머 단위를 사용하여 패턴화에 사용되는 매체의 이론적 한계 근처에서 해상도를 갖는 고품질 패턴을 생성합니다. 이 기계는 정확하게 교정 된 마스크 작문 도구 (mask-writing tool) 와 함께 사용될 때, 충실도가 나노 미터 스케일까지 내려가는 절묘한 피쳐 패턴을 가능하게합니다. 패턴 분해 또는 오염을 방지하기 위해, 이 도구는 기판 표면에 다양한 가스 유형을 제어하고 전달 할 수있는 고급 가스 전달 에셋 (advanced gas delivery asset) 을 사용합니다. 이것은 전체 기판에서 패턴 처리 과정을 균일하게 유지하는 데 도움이됩니다. 또한, 이 모델에는 소프트웨어 제품군 (Software Suite) 이 포함되어 있어 새로운 마스크 설계를 빠르고 쉽게 만들고 새로운 형상을 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 소프트웨어 제품군을 사용하면 생성된 패턴에 대한 이미지 분석 (image analysis) 을 통해 기하학적 충실도 (geometrical fidelity) 와 균일성 (unifority) 을 쉽게 확인할 수 있습니다. 마지막으로, TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 공급 업체가 기대하는 고품질 및 충실도를 유지하면서 복잡한 패턴을 빠르고 효율적으로 생산할 수 있습니다. 이를 통해 장비는 대규모 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 적합합니다. 고급 기능과 정확한 지오메트리 (geometry) 기능을 통해 고품질 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치를 지속적으로 생산하기 위해 필요한 자신감과 안심할 수 있습니다.