판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296906

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 재료 생산에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 표면에 작은 피쳐나 컴포넌트를 생성하기 위해 패턴을 반도체 웨이퍼로 에치 (etch) 하는 데 사용됩니다. 이 장치는 웨이퍼 위에 배치되는 미리 선택된 패턴을 포함하는 '마스크' 를 사용합니다. 그런 다음 웨이퍼는 고강도 방사선 (일반적으로 UV 조명) 에 노출되어 패턴이 표면으로 전달됩니다. 패턴을 전달하는 과정을 리소그래피 (lithography) 라고하며 TEL Lithius는 독특한 '전자 빔 리소그래피' 접근 방식을 사용합니다. 이것 은 전자빔 (전자 빔 빔) 이 표본 에 있는 일련 의 광전기 디플렉터 (디플렉터) 판 에 초점 을 맞추고 편향 되어 "웨이퍼 '에 도달 하는 정밀 한 양 의 방사선 을 가능 케 하는 것 이다. 이것은 표면에 원자를 적게 생성하여 필요한 에칭 시간을 줄입니다. 이 기계는 36 x 36 mm 면적에서 0.012 미크론 정도의 작은 기능을 만들 수있는 매우 높은 정밀 에칭을 제공 할 수 있습니다. 매우 높은 정확도 로 "빔 '을 조종 할 수 있기 때문 에, 이 매우 정밀 한 과정 은 또한 복잡 하고, 심지어 아치형 인 모양 을 지닌 특징 들 을 만들어 낼 수 있게 해 준다. photoresist 레벨을 조정하여 크기가 다른 기능을 얻을 수 있습니다. 또한 신호 대 잡음비 (signal to noise ratio) 도 조절이 가능하여 패턴을 더 많이 제어하고 모든 필름 두께로 작업하여 고해상도 (high resolution) 결과를 얻을 수 있습니다. 이 도구는 또한 고해상도와 균일 한 성능을 제공하는 독특한 전극 필터를 갖추고 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius의 낮은 유지 보수 설계는 신뢰성을 보장하여 장기간 고품질 (High Quality) 생산을 지속적으로 지원합니다. 이 제품은 짧은 노출 시간 (exposure time) 을 제공하여 빠른 주기 생산에 이상적이며, 프로세스의 높은 제어 (control) 를 통해 매우 정교하고 일관된 에칭을 보장합니다. Lithius는 매우 정확하고 신뢰할 수 있으며, 정밀 에칭 반도체에 이상적인 기술입니다. 고해상도 (high resolution) 와 균일성 (unifority) 을 향상시켜 집적회로 (integrated circuit) 와 기타 나노텍 (nanotech) 장치를 생산하는 데 가장 적합한 시스템 중 하나입니다.