판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296904

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 나노 테크 제조를 위해 특별히 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. "뉴우요오크 '는 반도체" 웨이퍼' 에 관한 가장 작은 세부점 을 밝혀, 제조 과정 을 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. 이 시스템은 포토레시스트 증착 (photoresist deposition) 을 위한 저렴한 고성능 솔루션과 웨이퍼에서 가장 작은 구조적 기능의 이미징을 사용하여 작동합니다. TEL Lithius 장치의 주요 구성 요소는 Wafer Monitor입니다. Wafer Monitor는 Wafer Surface의 저항성을 측정하여 최적의 Resistivity Uniformity를 만들고 Image Generator (이미지 생성기) 를 사용하여 Wafer에 깨끗하고 반복 가능한 이미지를 생성할 수 있습니다. 이미지 생성기 (Image Generator) 는 진공 인터페이스와 이미지 마스크의 두 가지 주요 요소로 구성됩니다. 진공 인터페이스 (vacuum interface) 는 웨이퍼를 적절한 증착 압력으로 설정하여 전체 웨이퍼에 균일 한 저항을 허용합니다. "마스크 '는 광물질 의 증착 을 조절 하기 위하여 금속" 박막' 을 입혀, 회로 기판 의 "레이아웃 '을 반사 하는 정밀 한" 패턴' 을 만들어 낸다. 작업 중, TOKYO ELECTRON Lithius 기계는 웨이퍼에 원하는 패턴을 공개하기 위해 웨이퍼를 광원에 노출시킵니다. 그 다음 "웨이퍼 '에 증착 된" 포토레지스트' 가 개발 되어, 개발 된 "이미지 '의 세부점 을 정확 하게 조사 하여 정확 하게 확인 할 수 있다. 검사 후, 웨이퍼는 리소그래피 스테이션 (lithography station) 으로 옮겨지며, 여기서 원하는 회로 기판 레이아웃과 정렬됩니다. 마지막으로, 웨이퍼를 에칭하여 원하는 컴포넌트를 생성합니다. 리티 우스 (Lithius) 는 나노 스케일 수준에서 정확한 제작을 허용하는 뛰어난 포토 esist 도구를 제공합니다. 웨이퍼 모니터 (Wafer Monitor) 및 이미지 생성기 (Image Generator) 구성 요소는 패턴화 프로세스가 세심하게 모니터링되는 동안 웨이퍼가 올바르게 조절되어 최종 결과의 고품질 (high-quality) 과 반복 가능성을 모두 보장합니다. 따라서 자동화된 제어 (automated control) 기능을 갖춘 효율적이고 정확한 솔루션을 찾는 나노 기술 제조업체에게는 귀중한 자산입니다.