판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9296645
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ID: 9296645
Coater / Developer system
Career station block
Process block
Coat process station
Develop process station
Plate process station
Interface block.
텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 반도체 마이크로 서큐티 생산에 사용되는 광석판 처리를 가능하게하는 고성능 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 기판 에" 포토레지스트' 를 깨끗 하게 증착 시켜 주고, 원하는 회로 설계 의 정밀 한 무늬 와 "에칭 '을 할 수 있도록 설계 되었다. 또한 화학 용매 린스 (rinse) 목욕 및 이소프로필 알코올 브러시 (isopropyl alcohol brushe) 를 사용하여 공정 중에 오염을 최소화 할 수 있습니다. 이 장치는 엑시머 레이저, 기판 홀더, 사진 민감성 저항기 (photo sensitive resist coating machine) 및 그림자 마스크를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. 엑시머 레이저 (excimer laser) 는 섀도우 마스크 (회로 설계 포함) 를 통해 기판 서피스로 전달되는 자외선 펄스를 생성하는 데 사용됩니다. 광도는 회로 설계의 정확한 해상도를 허용하도록 조정할 수 있습니다. 기판 "홀더 '는 일관성 있는 수준 의 기판 표면 을 유지 하는 데 사용 되어 정확 한" 코우팅' 을 할 수 있다. 사진 민감성 저항성 코팅 도구 (photo sensitive resist coating tool) 는 기판에 포토 esist를 균일하게 퇴적시키는 데 사용됩니다. 저항은 자외선에 노출되면 반응하여 용해되지 않습니다. 이를 통해 원하는 회로 피쳐를 패턴화할 수 있습니다. 이소 프로필 알코올 브러시 (isopropyl alcohol brush) 는 기질 표면을 스크러빙하여 과잉, 불용성 포토 esist 및 오염 입자를 제거하는데 사용된다. 더 나아가 청결 을 위해, 자산 은 화학 용매 "린스 '목욕 을 갖추고, 기질 을 다음 단계 의 생산 단계 로 옮기기 전 에 최종" 린스' 를 제공 한다. 이러한 모든 구성 요소를 결합하면 TEL Lithius는 고해상도 마이크로 서킷 (microcircuit) 을 생성 할 수있는 효과적인 포토 esist 모델이됩니다. 고급 마이크로 일렉트로닉 장치 생산에 귀중한 도구입니다.
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