판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9290886

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 회사의 입증 된 기술을 기반으로 한 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 이미징 컴포넌트 생산을 위해 정확한 박막 마스터링을 수행하도록 설계되었습니다. 이 장치는 두 가지 주요 구성 요소 인 TFMU (Thin Film Mastering Unit) 와 HQI (High Quality Imaging Unit) 로 구성됩니다. TFMU는 대형 탱크, 레이저 폭발 스테이션 (Laser Blasting Station), 난방 요소 및 주변 광원 (Light Source) 으로 구성됩니다. HQI 장치는 방사선 강화 카메라, 방사선 계산 구성 요소 및 이미지 데이터 생성 구성 요소로 구성됩니다. TFMU (Thin Film Mastering Unit) 는 포토 esist 물질을 포함하는 수용액으로 채워진 탱크로 구성됩니다. 광저항 물질 은 "레이저 '광선 을 통하여 빛 에 노출 될 때 특정 한" 패턴' 의 얇은 층 을 형성 할 수 있다. "탱크 '의 전체 표면적 은 고강도 의" 펄스' "레이저 빔 '에 의해 조명 된다. 펄스 레이저 빔은 다른 패턴과 크기의 방사선 내성 패턴을 만드는 데 사용됩니다. 레이저 강도 및 펄스 길이는 패턴의 정확성을 보장하기 위해 TFMU 컨트롤러에서 관리합니다. 또한 "TFMU '는 난방 요소 를 사용 하여 모든" 패턴' 주기 후 에 광물질 의 표면 을 반동 시킨다. HQI 장치 (HQI Unit) 는 TFMU가 만든 패턴과 이미지를 캡처하고 측정하는 카메라로 구성됩니다. HQI 장치 (HQI Unit) 의 목적은 정확한 이미징 데이터를 제공하는 것으로, 포토레스 소재 (photoresist material) 의 추가 처리 및 패턴화에 사용됩니다. 또한 HQI 유닛에는 다른 방사선 수준을 구분하고 정확한 데이터를 제공 할 수있는 방사선 계산 (radiation-computed) 구성 요소가 포함되어 있습니다. 또한, HQI 유닛 (HQI Unit) 에는 패턴과 이미지를 포토레스 소재 (photoresist material) 로 정확하게 전송하는 데 필요한 데이터를 제공하는 이미지 데이터 생성 구성 요소가 포함되어 있습니다. 텔 리티 우스 (TEL Lithius) 는 박막 프로파일을 정밀하게 제작하는 데 사용되는 신뢰할 수있는 포토 esist 기계입니다. 이 도구에는 블래스팅 스테이션 (blasting station), 난방 요소 (heating element), 카메라 (camera) 및 이미지 데이터 처리 (image-data processing) 와 같은 컴포넌트가 포함되어 있습니다. 정확한 데이터를 제공함으로써, HQI 장치는 이미지 데이터 조작 및 패턴화를 통해 고품질 이미징 구성 요소를 만들 수 있습니다. 광전 자산에는 방사선 계산 (radiation-computed) 성분이 장착되어 있으므로 다른 방사선 수준을 정확하게 구별 할 수 있습니다. 고급 기술로, TOKYO ELECTRON Lithius는 박막 프로파일 제작을위한 효율적이고 신뢰할 수있는 모델입니다.