판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9286669

ID: 9286669
웨이퍼 크기: 8"
Coater / Developer system, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 컴퓨터 지원 디자인에서 photomask를 만드는 데 사용되는 photoresist 시스템입니다. 영상을 빛에 민감한 물질로 옮기는 과정인 디지털화 된 형태의 사진 (photolithography) 이다. TEL 의 독자적인 시스템은 다각형 (polygon) 과 다이 패턴 (die pattern) 데이터로 고해상도 포토마스크 (photomask) 를 생성할 수 있게 해 줍니다. 이 과정은 폴리머 포토 esist 및 해당 레이어 마스크로 시작됩니다. 광전자는 원하는 표면에 퍼진 다음, 자외선 레이저 (자외선 레이저) 와 같은 고 에너지 광원 (high-energy-light-source) 에서 빛에 노출됩니다. 정해진 시간이 지난 후, 에너지는 광저장제에 의해 충분히 흡수되어, 그에 상응하는 미세 해상도 광저항 패턴을 형성하는 광화학 반응 (photo-chemical reaction) 으로 이어진다. 이송 할 원하는 패턴을 포함하는 마스크 (mask) 가 정렬되어 포토리스 스트 코팅 (photoresist-coated) 표면에 등록됩니다. 이미지 전달 공정 (image-transfer process) 이 열리고 레이저의 빛이 포토 esist의 노출 된 부품을 활성화합니다. 특정 한 화학 반응 은 감광 용매 에 용해 된 부위 를 생성 시키고, 그 후 에 "마스크 '에서 광소시스트' 로" 패턴 '을 이동 시킨다. 전송이 완료되면, 용해 된 영역은 한정된 색상으로 채워져, 포토리스 연주자 (photoresist) 에 정확한 패턴을 형성합니다. 그 후, 감광 층의 성분을 선택적으로 씻어 패턴을 청소합니다. 그런 다음, 원하는 모양의 생성된 이미지를 올바른 크기와 모양으로 자릅니다. 마지막으로, 포토 마스크 (photomask) 가 완료되어 집적 회로, 센서 요소, 커넥터 및 기타 요소의 생산과 같은 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. TEL Lithius는 이미지를 포토 마스크로 전송하는 훌륭한 시스템입니다. 고해상도 패턴 (High Resolution pattern) 을 만들고 일반 사진 촬영과는 별도로 반복 가능한 고성능 세트를 만들 수 있습니다. 시장이 점점 더 높은 품질의 제품을 요구하기 때문에, 모든 크기의 정확한 이미지 전송에 대한 요구도 있으므로 도쿄 전자 리티 우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 는 복잡한 포토 마스크 생산에 이상적입니다.
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