판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9276842

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9276842
웨이퍼 크기: 12"
Coater / Developer system, 12".
텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 디지털 인쇄 기술을 사용하여 기판에 극도로 정확한 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 정확한 정밀도로 50 nm 정도의 크기의 패턴을 만들도록 설계되었습니다. 이러한 피쳐를 사용하면 뛰어난 해상도로 패턴을 생성할 수 있으며, 더 작고 복잡한 피쳐를 생성할 수 있습니다. TEL Lithius는 스핀 온 증착 (spin-on deposition) 이라는 프로세스를 사용하여 포토 esist를 기판에 정확하게 전달합니다. 이 과정에서 전기적으로 충전 된 배럴은 기판에 정확한 양의 저항 액체 (resist liquid) 를 분배하고, 그 후 회전함으로써 균등하게 퍼집니다. 이 정확 한 증착 은 어떠 한 양 의 저항력 을 낭비 하지 않게 하며, 기질 의 모든 부위 를 고르게 응고 시킨다. "깨어라!" 그런 다음 TOKYO ELECTRON Lithius는 정교한 자외선 (UV) 이미징 기술을 사용하여 정확한 패턴을 만듭니다. 자외선 "레이저 '를 조작 함 으로써, 이 장치 는 거의 모든 종류 의 기판 을 무늬 로 만들 수 있다. "레이저 '무늬 를 사용 하여 현대 의 석판 인쇄 의 해상도 아래 에 기능 을 제공 할 수 있으며, 정밀 한 실용적 인 제어 로 매우 정밀 한" 패턴' 을 만들어 낼 수 있다. 광저항제 는 "레이저 '무늬 에 의하여 변경 되며," 레이저' 의 "파라미터 '와 노출 의 길이 에 의하여 점점 덜 식각 될 수 있다. 기계 는 "설정 '을 조정 함 으로써, 전통적 인 석판화 기법 으로 달성 할 수 있는 것 보다 훨씬 더 복잡 한 모양 을 만들 수 있다. 또한, 리티우스 (Lithius) 를 사용하여 기존 패턴을 수정하여 더 정밀하고 세부적으로 만들 수 있습니다. 이 도구는 또한 디스크, 웨이퍼 (wafer) 와 같은 패턴 미디어 (patterned media) 를 제작할 수 있으며, 사용자의 요구 사항에 맞게 생산물을 사용자 정의할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 에서 의료 임플란트 (medical implant), 자동차 부품 (automotive component) 에 이르기까지 많은 산업에서 광범위한 응용 분야를 보유한 매우 안정적이고 정확한 자산입니다. 즉, 신뢰할 수 있는 정밀도 (정밀도) 의 패턴을 제공하여 복잡한 부품과 구성 요소를 쉽고 빠르고 쉽게 만들 수 있습니다.
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