판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275274

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 집적 회로 제작에 사용하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 TEL (Advanced Lithography) 기술을 기반으로하며 고급 반도체 장치를 위한 포괄적인 포토레지스트 (Photoresist) 프로세스를 제공합니다. 반도체 소자보다 고해상도 (High Resolution) 와 우수한 기능을 가능하게 하여 패턴화 (Patterning) 를 위해 저항을 빠르고 정확하게 에칭할 수 있도록 설계되었습니다. 이 장치는 매우 정밀한 백 사이드 (back side) 정렬을 제공할 수 있으므로 오버레이 오류를 줄이고 오버레이 제어를 단단히 조절할 수 있습니다. 기계는 저항의 상태를 지속적으로 모니터링하고 조정하여 최적의 결과를 얻을 수 있습니다. 이것은 더 높은 정확도로 원하는 패턴을 얻는 데 도움이됩니다. 또한, 이 도구를 사용하여 패턴을 균일하게 에칭하여 피쳐를 정확하게 에칭할 수 있습니다. 광전자 에셋은 에칭 전에 저항면 (resist surface) 을 준비하는 데 도움을 주는 고급 준비 과정을 갖는다. 최상 의 질 의 "에칭 '공정 을 마련 하면서, 표면 의 오염 을 최소화 하는 정적" 엘리베이션' 장치 를 갖추고 있다. 이 모델에는 단일 웨이퍼 로딩 (wafer loading) 장비가 장착되어 있어, 로딩 시간을 줄이고, 웨이퍼를 더 많은 오염 수준으로 노출시킬 위험을 줄일 수 있습니다. 이 시스템은 또한 유전체 패널 (Dielectric Panel) 을 가지고 있는데, 이 패널은 웨이퍼를 보호하는 절연체 (Insulator) 역할을하며, 더 쉬운 작동을 위해 일관된 온도를 유지하기 위해 내장 난방 장치가 있습니다. 이 시스템은 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 와 사용자 친화적 제어 기능을 통해 쉽게 작동할 수 있습니다. 또한 오픈 필드 버스 (open fieldbus) 시스템에서 작동하는 다른 시스템과 상호 작용하도록 설계되었습니다. 따라서 두 시스템 간에 데이터를 원활하게 교환할 수 있습니다. 이 툴은 안정적이고, 안전하며, 사용하기 편리하며, 고급 반도체 장치 생산을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다. 이 자산은 신제품 개발, 설계 엔지니어링, 프로덕션 애플리케이션에 이상적입니다.