판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275250

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 및 집적 회로 (I/C) 제조 공정 내의 다양한 산업에 사용되는 특수 포토 esist 장비입니다. 광전자 (Photoresist) 는 식각 또는 퇴적된 금속과 같은 전자 부품 내에서 구조를 선택적으로 개발하는 데 사용되는 광민감성 물질을 말한다. 광전자 (Photoresist) 는 석판 공정의 핵심 단계로, I/C 칩에 다른 레이어와 경로를 생성하는 데 사용됩니다. TEL Lithius photoresist 시스템은 반도체 장치의 기능을 정의하는 데 사용되는 photomask를 사용합니다. 단위는 포토 esist라고 불리는 빛에 민감한 물질의 코팅을 적용하여 시작합니다. 그런 다음, photomask 를 photoresist 위에 배치하고, light 를 사용하여 photomask 에 정의된 영역을 노출시킵니다. 노출 된 영역은 포토 esist를 굳히거나 견고하게 만드는 반면, 노출되지 않은 영역은 용해성을 유지합니다. 빛이 제거 된 후, 현상기 솔루션 (developer solution) 이 표면에 적용되어 노출 된 광사 (photoresist) 를 제거하고 기판에 포토 마스크 패턴을 나타낸다. TOKYO ELECTRON Lithius photoresist machine (TOKYO Lithius 포토리스 스틱 머신) 에는 노출 된 패턴을 에치하고 추가 재료를 입금하는 데 사용할 수있는 습식 가공 도구가 포함되어 있습니다. 젖은 과정에는 포토 esist 스트립, 페인트 스트립, 저항재, 습식 에치, 저항 스트립 및 에치, 증착 및 외투가 포함됩니다. 에셋은 높은 수준의 공정 제어 (process control) 를 제공하여 I/C 칩 표면에서 재료를 반복 식각 및 증착할 수 있습니다. 리티우스 포토레스 (Lithius photoresist) 모델은 또한 잠재적 결함을 식별하고 젖은 처리 중에 제거 할 수있는 개선 된 제조 수율을 제공합니다. 이 장비는 또한 컴퓨터 제어 이미징을 사용하여 최적의 에칭 및 증착 프로세스를 결정합니다. 이렇게 하면 제조 과정에서 필요한 주기를 최소화하여 귀중한 시간과 비용을 절감할 수 있습니다 (영문). 요약하자면, TEL/TOKYO ELECTRON Lithius photoresist 시스템은 I/C 제조 공정에서 각각의 층에 재료를 개발 및 퇴적시키는 데 사용되는 안정적이고 효율적인 장치입니다. 이 기계는 높은 수준의 프로세스 제어, 높은 수율, 주기 단축, 결함 식별 기능 향상 등을 제공합니다.