판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9275245

텔 (TOKYO ELECTRON LTD.) TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TEL/TOKYO ELECTRON이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 반도체 (semiconductor) 와 디스플레이 (display) 장치의 생산에 사용되며, 매우 깨끗한 환경에서 최적의 생산성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 최신의 광학 기술을 사용하는데, 이는 고정밀도 사진 분석 프로세스에 적합합니다. 이 장치의 광학 장치에는 이미지 해상도가 높은 다중 렌즈 (multiple lenses) 와 마이크로 렌즈 (microslenses) 가 포함되며, 광저사진은 석판기의 자외선 (UV) 에 노출 될 때 매우 높은 대조를 나타냅니다. 공구의 고정밀 동력 단계 (high-precision motorized stage) 는 진동없이 웨이퍼를 정확하게 이동할 수 있으며, 이는 저k 유전체 표면에서도 최적의 노출 정확성을 보장합니다. 에셋은 노출 용량 및 균일성, 스프레이 거리, 피치, 리소그래피 패턴화와 같은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하는 기능을 제공합니다. 이를 통해 고품질 반도체 장치를 효율적으로 생산할 수 있습니다. 또한, 모델은 미립자 물질, 습도, 온도의 양을 제어하는 자체 포함 환경 (self-continued environment) 을 기반으로하여 환경에 대한 깨끗하고 이상적인 환경을 유지합니다. 이 장비는 다양한 "액세서리 '와" 옵션' 을 제공하여 다양한 응용 프로그램의 성능을 최적화합니다. 여기에는 레티클과 마스크의 정확한 패턴화를 위한 마이크로 처리 스테이션, 자동 리소그래피 작업을위한 스테퍼 및 스캐너 구성 요소, 고속 통합 제조를위한 자동 장치 처리기 (Automatic Device Handler) 가 포함됩니다. 더욱이, 이 시스템에는 복잡한 시퀀스와 사용자 지정 레시피를 개발할 수 있는 오프라인 (Offline) 프로그래밍 기능이 포함되어 있으며, 이를 빠르고 정확하게 재현할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Lithius는 반도체 및 디스플레이 장치 생산에 이상적인 솔루션입니다. 최신 옵티컬 기술, 프로세스 매개변수의 정확한 제어, 환경 제어 기능 등을 갖추고 있습니다. 또한, 다양한 애플리케이션의 성능을 최적화하는 다양한 액세서리와 옵션을 제공합니다 (영문).