판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9274980

텔/도쿄 일렉트로닉 리티우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 다양한 응용 분야에서 매우 높은 해상도의 기능과 패턴을 생성하도록 특별히 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 최첨단 리소그래피 (lithography) 장치 및 고급 스피너 디자인과 함께 복잡한 광학 경로로 구성됩니다. 텔 리티우스 (TEL Lithius) 장치는 매우 높은 해상도의 기능을 만들도록 설계되었습니다. 이것 은 중점 "레이저 '와 광폭 의 균일 한 전자" 빔' 을 동시 에 사용 하여, 재래식 광전자 "시스템 '보다 매우 높은 정확도 와 더 빠른 속도 의" 패턴' 을 렌더링 한다. TOKYO ELECTRON Lithius 머신의 고유 빌드 (build) 요소를 통해 사용자는 프로젝트 기준 (project-on-a-project) 방식으로 도구를 사용자정의하여 최종 제품이 가장 정밀한지 확인할 수 있습니다. 리티우스 (Lithius) 자산은 종횡비가 높은 기능에 가장 적합하며 20 나노미터까지 기능을 생산할 수 있습니다. 또한 나노 필러, 나노 케이비 티, 미세 전기 기계 시스템 (MEMS) 과 같은 다른 기능 패턴을 지원할 수 있습니다. 이 모델은 안정적이고 안정적이며, 반복성과 프로세스 제어 기능을 갖추고 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 장비가 지원하는 기판의 범위에는 실리콘 웨이퍼, 유리, 폴리머 및 알루미나 제품이 포함됩니다. 이 시스템은 고속 스캐너 (Scanner), 광학 모듈 (Optical Module), 고급 계산 도구 (Advanced Computational Tools) 등 다양한 최첨단 도구를 사용하여 기판을 신속하게 노출시킵니다. 이 장치에는 프로세스 사이클 시간을 유지하기 위해 고속 수직 수송이 포함됩니다. 또한, 이 기계는 사용자가 기판 처리, 프로그램 자동화, 다양한 도구 개선, 프로세스 제어 프로그램 (process control program) 을 원격으로 제어할 수 있는 정확한 프로젝트 관리 도구를 갖추고 있습니다. 이 고급 에셋은 더 낮은 photomask 크기를 사용하여 동등한 기존 photoresist 모델보다 작은 기능을 생성합니다. 장비에 존재하는 고급 광학 (optic) 때문에 마스크 크기를 줄일 수 있다. 고급 포토 esist 시스템으로서, TEL 리티 우스 (TEL Lithius) 장치는 종횡비가 매우 높고 기능 크기가 작은 복잡한 nanofabricated 구조에 이상적인 선택입니다. 이 기계 는 믿을 만하며, 기판 공정 을 잘 제어 해 주므로, 의학 에서 전자 공학 에 이르기 까지, 자동차 공업 에 이르기 까지, 광범위 한 응용 에 이상적 이다. 이 도구 에는 여러 가지 정교 한 특징 이 있는데, 이것 은 시장 에서 가장 발전 된 사진술사 "시스템 '중 하나 이다.