판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9273942
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ID: 9273942
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
System, 12"
EFEM
Blower module: PM1 and PM2
Air intake
Power rack
Light curtain
Accessory
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 복잡한 패턴을 복잡한 기판에 복제하도록 설계된 photoresist 장비입니다. 이 시스템은 반도체 제조를 위해 설계되었으며, 트랜지스터, 다이오드, 저항기와 같은 반도체 장치의 일부를 생산합니다. 장치는 여러 가지 구성 요소로 구성됩니다. 특히, 포토 esist는 종종 기질에 에치 저항성 (etch-resistant) 을 가하는 광 민감성 물질이다. 그런 다음이 재료는 특정 파장의 빛에만 반응합니다. TEL 리티우스 (Lithius) 기계에서는 반도체 레이저를 사용하여 기판으로 향하는 광선을 보냅니다. 이를 통해 정확한 패턴 복제 및 정확한 기능 구현이 가능합니다. TOKYO ELECTRON Lithius 도구는 다양한 다른 구성 요소에 의해 더욱 강화됩니다. 가장 중요 한 구성 요소 중 하나 는 "이미지 '정렬기 인데, 이것 은 광선 이" 기판' 위 에 있는 광미술자 를 직접 향해 정확 하게 조준 되도록 한다. 이 기능은 잘못된 정렬 오류를 제거하고 복제 프로세스 동안 정확성을 높입니다. 더우기, "커플러 '는" 컴퓨터' 로부터 "레이저 '로 보내야 할 필요 한 정보 를 얻는다. 또한 리티우스 (Lithius) 자산은 정확도를 높이고 최적의 장치 생산을 보장하도록 설계된 다양한 조정 가능한 설정을 제공합니다. 이러한 설정을 통해 레이저의 전원, 스캐닝 속도, 초점 거리 (focal length) 를 최적화하여 해상도가 높은 이미지를 만들 수 있습니다. 또한, 필요에 따라 다양한 필터 및 마스킹 기술을 사용하여 정확도를 향상시킬 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 모델에는 사용 가능한 다양한 구성 요소 외에도 사용이 간편한 그래픽 사용자 인터페이스가 포함되어 있어 운영자가 필요하지 않은 장비의 작동이 가능합니다. GUI 를 사용하면 필요한 함수와 명령을 프로그래밍하여 원하는 템플릿을 만들고 필요한 데이터를 레이저 (laser) 로 전송할 수 있습니다. 예를 들어, 사용자는 사용할 photoresist 유형, 레이저 전원, 빔의 초점 거리, 기판의 정확한 주소 및 기타 필요한 기능을 프로그래밍 할 수 있습니다. 전반적으로 TEL Lithius 시스템은 반도체 장치 및 부품의 정확하고 정확한 생산을 위해 설계되었습니다. 이 장치는 레이저 광선 조작 (Laser Light Beam Manipulation) 및 조정 가능한 설정과 같은 고급 기능을 제공하여 뛰어난 성능을 보장합니다. 또한, 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스는 편리함과 사용 편의성을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Lithius 기계는 반도체 전문가에게 필수적인 도구입니다.
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