판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9244896

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 9244896
System, 12" 2006 vintage.
텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 정밀 제어 및 노출 에너지가 매우 낮은 고품질 마이크로 제작 패턴을 만들도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 리소그래피 (lithography) 프로세스에 100 나노미터 이하의 해상도를 제공할 수 있다는 점에서 독특하며, 프로토 타입 (prototype) 및 기타 제품의 설계에서 더 많은 세부 사항과 정확성을 제공 할 수 있습니다. 텔 리티 우스 (TEL Lithius) 장치는 포토리스 스트 노출, 마스크 검사 및 다양한 구조물의 개선과 같은 다양한 포토 리토 그래피 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 리소그래피 과정은 TOKYO ELECTRON Lithius 기계로 시작하여 포토 esist를 고에너지 광자 클러스터에 노출시킵니다. 이러 한 광자 들 로 인해 광전자 는 광자 와 반응 을 보이게 되는데, 광전자 의 분자 들 은 "광자 '가 서로 일치 하게 된다. 정렬 된 분자는 패턴을 형성하고, 그 후 기질 또는 생성물의 표면 (surface) 으로 전달된다. 리티 우스 (Lithius) 도구는 컴퓨터 제어 조명 에셋과 함께 제공되며, 이는 매우 정확한 노출 에너지를 생성하고 각 개별 샷의 노출 시간을 제어하는 데 기여하며, 이는 원하는 패턴의 세부 사항을 나타냅니다. 조명 (Illumination) 모델은 또한 필요한 경우 높은 처리량, 다중 패턴, 다중 노출 주기를 제공 할 수 있습니다. 텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 장비는 또한 고급 검사 기술을 수행 할 수 있으며, 여기에는 포토 esist가 기판으로 만든 고해상도 선과 패턴을 검사하는 것이 포함됩니다. 고급 검사 시스템은 오염, 파편, 접착 문제와 같은 결함을 감지하는 데 도움이 될 수 있습니다. 이 장치는 또한 노출 사이트에 걸쳐 좋은 균일 성을 제공 할 수 있습니다. 또한 TEL 리티우스 (Lithius) 머신에는 강력한 소프트웨어가 포함되어 있어 노출 시간 (Exposure Time) 및 수량 (Quantities) 과 같은 설정을 빠르게 조정할 수 있으며 다른 모든 설정 및 변수의 상태를 모니터링할 수 있습니다. 또한 이 소프트웨어를 사용하면 여러 프로젝트에 데이터를 저장하고 진행 중인 프로젝트의 상태를 확인할 수 있습니다 (영문). 이 소프트웨어는 또한 사용자 정의 (custom) 노출 사이트 클러스터를 설계하는 기능을 제공하며, 필요에 따라 외부 도구와 프로세서를 통합할 수 있습니다. 고급 기술과 사용자 정의 설정의 통합을 통해 TOKYO ELECTRON Lithius (TOKYO ELECTRON Lithius) 도구는 품질의 포토레지스트 패턴을 극도로 정확하고 제어할 수 있습니다. 이 자산은 연구 개발 프로젝트 (Research and Development Project) 와 다양한 산업의 프로토 타입 애플리케이션에 이상적입니다. 제품 기반 산업의 품질 관리 부서 (Quality control department) 는 구성 요소 및 사용자 친화적 인 소프트웨어의 결함을 감지할 수 있기 때문에 이 모델의 이점을 크게 얻을 수 있습니다.
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