판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235261

텔/도쿄 일렉트로닉 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 반도체 산업에서 기판에 회로 요소를 만드는 데 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 광도에 반응하는 광전자 (photoresist) 또는 광감수성 화학 물질 (light-sensitive chemicals) 은 리소그래피 과정에서 기질에 패턴 화 된 구조를 생성하는 데 사용됩니다. TEL Lithius 시스템은 스테퍼 유닛, 리소그래피 조명 소스 및 저항 코팅 헤드로 구성됩니다. "스텝퍼 '는" 칩' 과 기판 을 움직 이는 전동 단계 를 조절 하고, 기판 을 회전 시키고, 이동 시키고, 초점 을 맞추는 정확 한 수단 을 제공 한다. 또한 스티퍼 (stepper) 에는 작동 중 기판의 다차원 정렬 및 칩 이동을 허용하는 추가 옵션이 포함되어 있습니다. 리소그래피 조명원은 사진 연주자의 노출 (또는 영상) 에 대한 광원을 제공합니다. 포토리스 (photoresist) 의 특성에 따라 다양한 패턴화 램프를 제공하며, 구조의 위치 정확도를 테스트하기위한 정렬 보드 (alignment board) 도 포함합니다. 이 장치 의 마지막 구성 요소 는 "레지스트 '코팅 헤드 인데, 그 머리 는" 레지스트' 를 기판 에 정확 하게 코팅 하는 역할 을 한다. 이 기계는 센서 제어 전사 유속 (sensor-controlled transfer flow rate) 을 제공하여 저항을 기판에 짝수 코팅하도록 합니다. 헤더는 최대 50 mm 너비의 면적과 최대 0.01 µm의 해상도를 코팅 할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius 기계는 수십 년 동안 휴대 전화 부품, 반도체 테스트 보드, OLED 디스플레이 등 다양한 응용 프로그램에 사용되는 칩셋에 고해상도 구조를 만드는 데 사용되었습니다. 광원 (photoresist) 도구는 광원의 강도에 따라 기판에서 저항의 노출을 선택적으로 분해하여 모양이나 크기의 고해상도 구조 (high-resolution structure) 를 생성함으로써 작동한다. 리티우스 에셋 (Lithius asset) 에서 제공되는 첨단 기술 (Advanced technology) 은 정확한 제어 및 정확성을 제공하여 사용자가 구조물 제작의 오류를 최소화할 수 있도록 합니다.