판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9235182

LFtec (Large Area Fine Patterning Platform) 이라고도하는 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 큰 반도체 웨이퍼에 균일 한 미크론 크기의 패턴을 만드는 데 사용되는 포토 리토 그래피 장비입니다. 이 시스템은 고급 열 이미징 (thermal imaging) 프로세스를 사용하여 처리량이 높은 광저장술사의 패턴을 노출시킵니다. LFtec은 5 ~ 20 ½ m 범위의 패턴으로 패턴을 생산할 수 있으며, 정렬 정확도는 1 µm 이내입니다. LFtec 장치는 세 가지 주요 부분으로 구성된 photolithography 프로세스를 기반으로합니다. 조명 광학, 포토 esist 및 사진 정렬. 먼저, 조명광학은 포토 esist에게 특정 패턴을 조명합니다. 그 다음, 광전물질 은 빛 을 흡수 하여 화학 반응 을 일으키는데, 이것 은 광전물질 의 종류 에 따라 다르다. 포토 버퍼는 각 웨이퍼에 상대적인 패턴을 정렬합니다. LFtec 머신에서 사용하는 TEL 고급 열 이미징 프로세스 (Advanced Thermal Imaging Process) 는 처리량을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 그것 은 "포토레지스트 '를 재빨리 가열 하는 적외선 광원 을 갖추고 있는데, 이것 은 전통적 인" 포토리스토그래피' 장비 에 비해 훨씬 더 빠른 방법 으로 "패턴 '을 노출 시키는 데 도움 이 된다. 또한 패턴의 선 너비 왜곡을 줄이기 위해 매우 정확하게 제어되는 공간 필터 (spatial filter) 가 특징입니다. 또한, LFtec 도구는 200mm ~ 12인치 웨이퍼에 이르는 여러 웨이퍼 크기를 손쉽게 처리할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 실시간 데이터와의 완벽한 통합을 통해 데이터 정확성과 반복 (repeatability) 을 보장합니다. LFtec 에셋의 고유한 이미징 능력은 대형 웨이퍼 (wafer) 에 복잡한 패턴을 만드는 데 이상적인 선택입니다. 모델에서 생성된 균일하고 정확한 패턴은 집적회로 (IC), LED 디스플레이, 기타 기술 등 많은 고급 어플리케이션에 적합합니다.