판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9218117

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 혁신적인 포토 esist 장비입니다. 반도체 부품 제조를 위한 효율적인 리소그래피 (lithography) 프로세스를 용이하게 하기 위해 설계된 포괄적인 도구 세트입니다. Photoresist 시스템은 다양한 유형의 회로 및 컴포넌트에 대한 빠른 프로토 타입 및 개발을 허용합니다. TEL Lithius 시스템은 고급 화학 기계 평면 화 기술을 사용합니다. 이 기술은 기판에 레벨과 균일 한 표면을 생성함으로써 작동합니다. 이것은 불량 또는 불일치를 제거하기 위해 기판 위에 천천히 전달되고 광학 탐지기 (optical detector) 에 의해 지속적으로 모니터링되는 연마제 (abrasive pad) 를 사용하여 달성됩니다. 기판을 연마 한 후, 얇은 균일 한 층 에서, 광소시스트 (photoresist) 가 표면 에 적용 된다. 이를 통해 패턴을 기판 레이어에 에칭할 수 있습니다. 그 후, 특수한 에치 (etch) 공정이 표면에서 원하지 않는 재료를 정확하게 제거하는 데 사용됩니다. 결과는 정확도가 높은 정확하게 패턴 된 기판 층입니다. TOKYO ELECTRON Lithius 유닛에는 반도체 부품 개발을 지원하는 포괄적인 이미징 및 이미징 분석 도구 (영상 분석 도구) 도 포함되어 있습니다. 이러한 도구를 사용하여 선폭, 각도, 오버레이, photoresist 두께 등과 같은 패턴 매개변수를 얻을 수 있습니다. 그런 다음, 이 정보를 사용하여 패턴을 수정하거나 세밀하게 조정할 수 있습니다. 따라서 정확하게 에칭된 컴포넌트가 생성됩니다. 향상된 마스크 정렬을 위해 Lithius는 다양한 스테퍼 정렬 모듈 (stepper-alignment module) 및 실시간 횡단면 이미징 도구를 제공합니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 기계는 반도체 부품 생산을위한 귀중한 도구이며, 타이트한 디자인 정확도 내에서 정확한 패턴화 기능을 제공합니다. 이 도구는 최신 고급 반도체 장치 (예: 메모리, 프로세서 칩) 의 생산에 적합합니다. 또한 빠른 프로토타입 및 서브시스템 개발을위한 기능을 제공합니다.