판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9204825

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TEL (TOKYO ELECTRON Ltd.) 이 개발하고 Nikon Metrology가 승인 한 고급 포토 esist 장비입니다. 가장 어려운 제조 및 생산 프로세스를 처리하도록 설계되었습니다. 스캐닝의 필요성을 없애고, 기존의 사진작가보다 훨씬 빠릅니다. TEL Lithius 시스템은 소프트웨어 제어 솔루션 기반 설계를 사용하여 정밀 패턴과 이미지를 생성합니다. 고급 웨이퍼 레벨 리소그래피 (lithography) 기술은 기능 크기가 0.1 ~ 50m로 매우 높은 해상도와 정확도를 보장합니다. 또한 넓은 라인 너비 제어 (0.15m만큼 작음) 와 우수한 라인 너비 변형 성능을 제공합니다. TOKYO ELECTRON Lithius 유닛은 마스크가없는 사진 해설을위한 저렴한 솔루션을 제공하며, 고정밀 포토 esist 응용 프로그램을 허용합니다. 이 기계는 독점 소프트웨어를 사용하여 photoresist 프로세스의 모든 측면을 제어합니다. 여기에는 패턴 생성, 웨이퍼 레이아웃, 웨이퍼 처리 및 마스크 최적화가 포함됩니다. 리티 우스 (Lithius) 는 전체 웨이퍼를 코팅하는 균일 한 저항층으로 시작하는 하향식 증착 과정을 기반으로합니다. 그런 다음, 그 층 은 미리 정해진 시간 동안 광원 (예: "에바라 '혹은" 쿼츠 램프') 에 선택적 으로 노출 된다. 이 빛에 노출 된 후, 포토레시스트는 패턴과 제품을 제작하기 위해 개발, 처리됩니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 도구는 미세한 선과 높은 종횡비로 고정밀 및 초미세 구조를 생성 할 수 있습니다. 또한 에너지 효율이 높으며 프로세스 중 폐기물을 최소화합니다. 또한, 사용하기 매우 쉽고, 최소한의 교육과 유지 보수가 필요합니다. TEL Lithius는 하이엔드 반도체 및 MEMS/nano 장치 제조를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션입니다. 생의학, 전자, 자동차, 통신, 디스플레이 및 인쇄 회로를 포함한 많은 산업에서 사용하기에 적합합니다. 자산은 매우 복잡한 패턴과 컴포넌트 (component) 를 만드는 데 사용될 수 있으며, 작은 부품의 대량 생산에 이상적입니다.