판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111800

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TEL (TOKYO ELECTRON) 이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 반도체 기판을 초미세 기능으로 패턴화하도록 설계된 photolithography 시스템입니다. SHRL (Synchronized High Resolution Laser) 과 고유 한 광학 통합 기술을 결합하여 뛰어난 포토레스 처리 및 이미지 전송을 달성합니다. SHRL은 광도, 주기 주파수, 노출 시간을 제어하는 동시 노출 및 기능이있는 레이저 조명 소스입니다. 이 레이저는 10 nm 이하의 패턴 (리소그래피 유닛에서 가장 작은 패턴) 을 생성 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 직접 사진 촬영 (direct write photolithography) 을 할 수 있으며, 이는 전통적인 교정 및 마스크 레이어의 필요성을 나타냅니다. TEL Lithius photoresist tool은 또한 완전히 통합 된 광학 기술을 갖추고 있으며, 이는 뛰어난 명암과 해상도로 넓은 영역에 비해 높은 정밀 이미징을 용이하게 합니다. 모든 노출로 반복 가능한 결과를 보장하는 닫힌 루프 제어 에셋이 있습니다. 고급 기능으로, 더 높은 재료 활용도와 향상된 포토 esist 내구성을 제공합니다. 이 모델에는 이미지 디렉터 (Image Director) 소프트웨어도 포함되어 있으며, 설계 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있도록 패턴 레이어의 변환, 회전 및 배율을 제공합니다. 다른 기능으로는 모든 패턴에 대한 정확한 초점이 맞춰지도록 자동 초점 조정 (autofocusing) 과 프로세스 최적화를 위한 매개변수를 쉽게 확인할 수 있는 직접 판독 (direct-readout) 측정이 있습니다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Lithius photoresist 장비는 작고 사용하기 쉬운 시스템에 내장 된 강력한 사진 촬영 도구입니다. 고급 레이저 기술과 고도로 통합된 옵틱 (optic) 기능을 통해 사용자는 나노스케일 해상도 (nanoscale resolution) 와 기능으로 탁월한 패턴화 성능을 얻을 수 있습니다. 소형 기능 (small feature) 과 정밀 이미징이 필요한 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.