판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111797

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 최첨단 포토 esist 장비입니다. 포토레스 (Photoresist) 는 전자 회로 기판 및 반도체 장치 제조에 사용되는 감광 물질입니다. Photoresist System은 4 개의 주요 구성 요소로 구성됩니다. 펄스 엑시머 레이저, 검출기 모듈, 폴라라이저 광학 및 웨이퍼 스테이지. 펄스 엑시머 레이저 (pulsed excimer laser) 는 자외선을 사용하여 원하는 패턴을 포토리스 스트 코팅 웨이퍼에 노출시키는 특수 장치입니다. "레이저 '빛 은 광전물질 의 화학적 변화 를 유도 하여, 광전물질 이 그 후 의 처리 에 대한 반응 을 결정 한다. 검출기 모듈은 프로세서와 2 개의 사진 검출기로 구성됩니다. 프로세서는 호스트 컴퓨터에서 보낸 벡터 데이터를 처리, 해석하여 벡터 (vectoring) 방향과 노출 양을 결정합니다. 두 "센서 '는" 웨이퍼' 표면 을 가로지르는 "레이저 '의 선형 운동 을 측정 하여" 웨이퍼' 의 전체 표면 이 고르게 노출 되도록 한다. "폴라라이저 '광학 은" 레이저' 광선 의 방향 을 조절 하는 데 사용 되는 장치 이다. 광학 장치 에는 여러 개 의 "렌즈 '와" 필터' 가 들어 있는데, 그 "필터 '는" 빔' 을 원하는 "패턴 '에 초점 을 맞추도록 조정 할 수 있다. 이렇게 하면 패턴이 정확하게, 그리고 올바른 강도로 노출됩니다. 웨이퍼 스테이지 (wafer stage) 는 레이저 아래에 웨이퍼를 정확하게 배치하는 데 사용되는 모션 컨트롤 머신입니다. 웨이퍼의 XYZ 위치를 제어하기 위해 서보 모터와 인코더가 장착되어 있습니다. 스테이지 (stage) 에는 여러 방향에 대해 웨이퍼를 회전시키는 기능이 있으며, 노출 시간을 최소화하기 위해 방향을 빠르게 변경할 수 있습니다. TEL 포토레지스트 (photoresist) 도구는 사용 가능한 가장 고급 시스템 중 하나이며 고급 집적 회로를 제조하는 데 사용됩니다. 이 에셋은 가장자리 해상도가 우수한 복잡한 패턴을 만드는 데 탁월한 속도와 정확도를 제공합니다. 뛰어난 신뢰성을 제공하며 대용량 생산에 이상적입니다.