판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9111778

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 장치 제조에 사용하도록 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 저비용 (LC) 과 높은 처리량으로 고품질 패턴화 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 광학 사진 해설이라는 리소그래피 기술을 사용합니다. 이것 은 "마스크 '를 통하여 빛 을 투영 하여 반도체 재료 에" 패턴' 을 생성 하는 과정 이다. TEL Lithius 장치에는 자외선 (UV) 을 방출하는 고급 광학원이 장착되어 있습니다. 이 UV 빛은 광 마스크를 통해 포토 esist 코팅 된 반도체 물질로 향합니다. 광저항층 은 감광적 이며, 광선 에 노출 되면 그 구조 를 변화 시켜 "패턴 '을 만든다. 그런 다음 이 패턴을 개발하여 반도체 물질로 옮길 수 있습니다. 이 기계는 고급 광학 조명 도구, 3도 자유 (3-DOF) 정렬 모듈, 고급 웨이퍼 스캔 및 향상된 기능 해상도 (최대 65nm) 를 갖추고 있습니다. 에셋은 선 너비가 1 ~ 2 인 고정밀 패턴을 생산하고 스티칭 효과를 완전히 제거 할 수 있습니다. 또한 포토리스 (photoresist) 레이어의 온도, 구성 및 점도를 정확하게 관리 할 수있는 고급 photoresist 제어 모델이 있습니다. 이 장비에는 다양한 유형의 재료에 대한 정확한 정렬 및 정확한 패턴화 (patterning) 를 보장하는 자동 정렬 시스템 (auto alignment system) 도 있습니다. 공정 중에 만들어진 인공물 또는 불규칙성을 효과적으로 제거 할 수있는 특수 다이 투 다이 (die-to-die) 수정 장치가 있습니다. 또한, 기계는 기판의 패턴화 된 표면 위에 보호 레이어 (protective layers) 를 추가하기위한 증착 도구 (deposition tool) 를 가지고 있습니다. 에셋은 여러 프로세스를 동시에 실행할 수 있으며, 대부분의 마스크 정렬기 (mask aligner) 및 웨이퍼 스테퍼 (wafer stepper) 와 호환됩니다. 또한 여러 레이어와 기능을 갖춘 크고 복잡한 설계를 처리할 수 있습니다 (영문). 전체적으로, TOKYO ELECTRON Lithius 모델은 고정밀 패턴화와 반도체 장치 생산을위한 비용 효율적인 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다.