판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105632

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 다양한 응용 분야에 대한 리소그래피 솔루션을 개선하기 위해 설계된 고급 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은 광학" 소오스' 와 특허 를 받은 건식 저항기 를 결합 시켜, 기존의 습식 발달 보다 더 높은 정확도 로 "웨이퍼 '에 무늬 를 만들어 낸다. 이 기계는 정교한 조명 분야에 정교한 광학 도구를 갖춘 고강도 UV 광원을 사용합니다. 응용된 저항은 습식 개발 (wet development) 에서 볼 수없는 방식으로 건식 처리 가능하고 빛에 반응하도록 설계되었습니다. 결과는 매우 균일하고 신뢰할 수있는 패턴 된 표면입니다. 자산의 건조 저항은 사전 민감화, UV 조명에 대한 반응, 개발 후 (post-development) 등 다양한 단계를 통해 사진 패턴화 될 수 있습니다. TEL 리치우스 (TEL Lithius) 모델의 고유한 특징은 소프트웨어 및 이미지 분석 도구를 사용하여 각 단계를 자동화 및 모니터링할 수 있다는 것입니다. 이를 통해 사용자는 photoresist 프로세스의 성능을 정확하게 정량화하여 더 높은 정확도와 정확도를 예측할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON LITHIUS 장비는 일관된 성능을 보장하기 위해 다양한 제조 및 기능 자원으로 설계되었습니다. 이러한 리소스에는 저항에 대한 정확한 심층적 뷰, 웨이퍼 (wafer) 의 안정적이고 레이저없는 조명을 보장하는 쿼츠 렌즈 (quartz lenses), 조명 에너지의 사용자 제어를 허용하는 세분화 조정 기능 (granular adjustment) 을 제공하는 여러 카메라 시스템이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 일상적인 유지 보수 (maintenance) 기능을 갖추고 있으므로 시간이 지남에 따라 장치가 일관되게 유지됩니다. 리티 우스 머신 (Lithius machine) 은 패턴에서 매우 정확한 균일성을 촉진하는 것 외에도 0.25 ½ m 이상의 향상된 오버레이 정확도를 제공하여 사용자에게 향상된 선과 공간 구조를 제공합니다. 이 도구의 다른 기능으로는 더 낮은 소유 비용, 포토레스 솔벤트 (photoresist solvent) 필요 없음, 녹색 직물 작동 기능 등이 있습니다. 자동화에서 유지 보수에 이르기까지 광범위한 기능을 갖춘 TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 자산은 마이크로 일렉트로닉스 장치 및 부품의 일관된 생산을 위해 설계되었습니다.