판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105630
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ID: 9105630
Process Block Robotics Arm
P/N: PRA ASSY
Includes:
010-204079-11 FORK(200),PRA 1
5010-307799-13 BLOCK(200),PRA 3
020-005778-1 CAP SCREW CBSST4-8 3
020-002601-1 BAIND SCREW M3*4 SUS304 6
032-000585-1 FLAT WASHER M4 1L SUS304 3
5010-308529-11 PLATE(1-200),HEAT SHILED 1
5010-406949-11 SUPPORT(X-1) 1
5010-308530-11 PLATE(2-200),HEAT SHILED 1
5010-302404-11 FRAME 1
020-000028-1 CAP SCREW M4*6 SUS304 2
020-007602-1 TORX CAP SCREW M4*8 SUS304 2
020-002913-1 CAP SCREW M4*8 SUS304 W/SPR & FLAT WASHER 2
032-000011-1 FLAT WASHER M4 SUS304 POLISHED ROUND 2
032-000058-1 SPRING WASHER M4 SUS304 2
5010-101146-12 BASE,(X)UPPER 1
5010-101147-13 BASE(X),LOWER 1
5004-400017-12 ARM(X1-1) (509510045511 1
5010-305344-11 SUPPORT(X1-1) 1
5004-400018-11 ARM(X2-1) (509510045511 1
5010-306532-11 ARM(X2-2) 1
5010-305345-12 SUPPORT(X2-1) 1
5004-400019-11 ARM(X3-1) (509510045511 1
5010-306533-11 ARM(X3-2) 1
5010-305346-11 SUPPORT(X3-1) 1
5004-400015-11 CLAMP,BELT (509510045411 6
5010-401565-12 PLATE 5
5010-404925-11 STOPPER(X-1) 3
5010-404926-11 STOPPER(X-2) 6
5010-305873-11 SUPPORT(X-2) 1
5010-305987-11 SUPPORT(X2-2) 1
5010-306512-12 STAY,SUPPORT 1
5010-405028-11 COVER,CABLE 1
5010-404472-11 COVER,SENSOR 1
5010-405427-11 PILLER(1) 2
5010-405428-11 PILLER(2) 4
5010-307086-12 PLATE(1),SIDE 1
5010-306535-12 PLATE(2),SIDE 1
5010-306536-12 PLATE(3),SIDE 1
5010-404927-11 BLOCK,AJUST 2
5010-405430-12 SHUTTER(X) 3
5010-405429-12 BRACKET,SUPPORT 1
5010-408761-11 SHUTTER(TH) 1.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 기판 및 기타 웨이퍼 레벨 장치의 노출을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 포토레시스트 (Photoresist) 시스템을 통해 기판에 다양한 패턴을 생성할 수 있으며, 정밀도와 정확도가 높은 고성능 전자 부품의 개발을 가능하게 합니다. TEL Lithius 시스템은 EUV (Extreme Ultraviolet) 광원을 사용하여 0.3um 장치 기능의 리소그래피를 활성화하고 0.2um 크기의 마스크 결함을 감지합니다. 이 장치에는 자동 마스크 검사 챔버 (automated mask inspection chamber) 가 있으며, 이는 낮은 수차 (흐림) 로 정확한 스캔 광학을 사용하여 마스크의 결함을 감지합니다. 기계는 또한 고정 자석 (retention magnet) 도구를 사용하여 노출 중에 마스크가 이동하지 않도록 합니다. 에셋은 다양한 노출 모드를 지원하므로 기판을 최적으로 패턴화할 수 있습니다. 예를 들어, 1회 노출 모드를 사용하면 하나의 마스크로 여러 장치를 동시에 노출할 수 있습니다. 고해상도 스팟 노출 모드 (High Resolution spot exposure mode) 를 사용하면 기존의 스테퍼 시스템보다 높은 해상도로 단일 픽셀을 노출할 수 있습니다. 또한, 다중 노출 모드 (multiple exposure mode) 를 사용하면 기판의 조건에 맞게 광도를 조정할 수 있습니다. TOKYO ELECTRON Lithius 모델은 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 가 있으며, 사용자 친화적으로 설계되어 운영자가 신속하게 장비를 마스터할 수 있습니다. 또한 빠른 속도와 매우 정확한 자동 초점 기능 (autofocus feature) 을 제공하여 초점 시간을 단축하고 정확도를 향상시킵니다. 또한 자동 교정 (Automatic Calibration) 기능이 제공되므로 수동 교정이 필요하지 않습니다. 마지막으로, Lithius 장치는 신뢰성이 높으며, 모듈식 아키텍처는 고속 및 성능에 최적화되어 있습니다. 유연한 확장성 (Exandable) 설계를 통해 향후 요구 사항을 충족하도록 시스템을 업그레이드할 수 있습니다. 이 도구는 환경 및 안전 측정 (Environmental and Safety Measures) 을 내장하여 모든 사용자에게 안전하고 건강한 작업 환경을 제공합니다.
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