판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9105625

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 장치, 디스플레이 등 다양한 산업에 사용되는 포토 esist 장비입니다. TEL Lithius는 고급 석판 시스템을 통해 고정밀 재료 증착과 미세 패턴을 제공합니다. 이 장치는 고해상도 프로젝터 (High-Resolution Projector) 를 기반으로하며, 화학반응적인 조명 이미지를 증착 된 박막 재료에 투사하여 정밀도가 높은 패턴을 만듭니다. 또한, 프로젝터는 최적의 해상도를 보장하기 위해 멀티사이즈 레이저와 동기화됩니다. 이 기계는 최소 기능 크기 해상도 0.1µm 이하의 복잡한 디자인을 생산하는 데 사용될 수 있습니다. 습식 에칭 및 화학 에칭 공정의 조합을 사용하여, 포토 esist 잔기가 쉽게 제거된다. 이것 은 잔류 한 "포토레지스트 '가 장치 의 다른 부분 으로 옮겨지지 않도록 하며, 이것 은 전기 고장 및 기타 생산" 에러' 를 일으킬 수 있다. TOKYO ELECTRON Lithius 도구에는 정확한 필름 증착 및 패턴을위한 고급 제어 자산도 포함되어 있습니다. 모델 소프트웨어는 여러 매개변수 (예: 레이저-프로젝터 동기화, 에칭 매개변수, 기타 장비 설정) 를 제어할 수 있습니다. 또한, 시스템 소프트웨어는 외부 데이터베이스 (external database) 와의 통합을 통해 운영 매개변수를 신속하게 최적화할 수 있는 데이터를 제공합니다. 또한, 이 장치에는 고정밀 진공 챔버 (high-precision vacuum chamber) 가 포함되어 있으며, 이를 통해 포토 esist 레이어의 개발 및 처리에 대한 최적의 대기 제어가 가능합니다. 이 진공 챔버는 또한 공기 거품과 잔류 광사 제를 줄입니다. 마지막으로, Lithius 기계에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 제공되어 쉽고 직관적인 작동이 가능합니다. 사용자는 도구 (Tool) 의 시퀀스를 사용자 정의하여 단일 재료 (Single Material) 또는 다중 재료 (Multiple Material) 를 한 번에 처리하고 내장 모니터를 사용하여 프로덕션 프로세스의 진행 상황을 모니터링할 수도 있습니다. 전반적으로, TEL/TOKYO ELECTRON Lithius 자산은 고정밀 재료 증착 및 미세 패턴을위한 고급 포토 esist 모델로, 사용자 정의가 가능하며 포토 esist 개발 및 처리를 위해 최적의 대기 제어를 제공합니다.