판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #9102163

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 조명기를 사용하여 반도체 장치의 발명에서 웨이퍼 기판에 리소그래피 패턴을 만드는 포토 esist 장비입니다. 그것 은 "웨이퍼 '기판 에" 리소그래피' 무늬 를 만드는 데 걸리는 시간 을 줄이고 더 선명 하고 정밀 한 "리토그래피 '무늬 를 만드는 데 필요 한 것 이다. 이러한 고정밀 패턴을 만들기 위해 TEL Lithius 시스템은 통합 광학, 고급 광원, 광선 전송 장치 및 전자 빔 노출과 I-line, Deep UV 및 EUV 조명원을 포함한 독점적 인 리소그래피 기술의 조합을 사용합니다. 이러한 기술을 사용하여, 기계는 넓은 지역에 걸쳐 밀도, 균일 및 고정밀 리소그래피 패턴을 생성 할 수 있습니다. 광원은 광원 (light source) 을 통해 매우 정밀하고 지역화된 패턴을 만들 수 있으며, 광원 투과 (light transmission tool) 는 광원을 가능한 한 정확하게 전달하는 데 도움이됩니다. 리소그래피 (lithography) 자산은 전자 빔 노출 기술 (electron beam exposure technology) 을 포함한 여러 독점 기술을 사용하며, 이는 고도로 집중된 전자 빔을 사용하여 넓은 지역에 패턴을 만듭니다. 또한 248 nm에서 13.5 nm의 파장 방출 I 라인, 깊은 UV 및 EUV 조명원을 사용합니다. 이 모델에는 자동 웨이퍼 매핑 (automated wafer mapping), 스캔 각도 제어 (scan angle control), 온도 보상 (temperature compensation) 등 다양한 오버레이 정확도와 프로세스 제어 기능이 제공됩니다. 이러 한 특징 들 은 함께, 석판화 장비 로 만든 "패턴 '들 이 정확 하고 정확 한 것 들 을 보장 하는 데 도움 이 된다. TOKYO ELECTRON Lithius는 웨이퍼 기판을 패턴화하는 고효율 시스템으로 설계되었습니다. 광학 (Optic), 광원 (Light Source) 및 독점 기술의 조합은 매우 정확한 리소그래피 패턴을 만들어 패턴화에 필요한 시간을 줄입니다. 이 장치는 또한 자동 웨이퍼 매핑 (automated wafer mapping) 및 기타 기능을 통해 패턴이 정확하고 균일하도록 매우 정확합니다. 이러한 기능을 사용하면 Lithius를 고품질 리소그래피 패턴을 만드는 데 이상적인 기계로 만들 수 있습니다.