판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293793614

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 정밀 사진 다이어그래피 프로세스를 위해 설계된 완전 자동화 된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 효율적인 저항처리와 우수한 패턴화 (patterning) 결과를 위한 다양한 기능을 제공합니다. 이 제품은 고출력 생산에 최적화되어 있으며, 리소그래피 (lithography) 기술의 최신 향상을 활용합니다. 이 장치는 단일 시간에 최대 8 가지 유형의 저항 (resist) 을 처리할 수 있으며, 자동화된 두께 제어 메커니즘은 프로세스 균일성과 높은 정확도를 보장합니다. 기계는 광원 (light source), 광학 스테이지 (optical stage) 및 마스크 스테이지와 정렬된 기판을 배치하는 플랫폼으로 구성됩니다. 광학 단계에는 정밀 정렬 도구 (precision alignment tool) 와 기판을 이동하는 데 사용되는 스테퍼 (stepper) 가 포함됩니다. 광원은 필요한 파장 (wavelength) 과 강도 (intensity) 수준의 빛을 제공하며 표준 및 고급 리소그래피 (lithography) 프로세스를 모두 수행할 수 있습니다. 에셋에는 특수 다중 계층, 저항 처리 모듈 (Resist Processing Module), 대용량 기판을 자동으로 처리하는 맞춤형 컨베이어 (Conveyor) 등 다양한 고급 기능이 있습니다. 자동 웨이퍼 포지셔닝 모델은 고유한 옵티컬 스캐너 (optical scanner) 와 스마트 클리닝 장비와 통합됩니다. 또한 전동 마스크 스테이지, 통합 진공 시스템 및 자동 튜닝 기능이 장착되어 있습니다. 이 장치는 오염으로부터 탁월한 보호를 제공하며, 장기 유지 보수를 보장하기 위해 특수 보호 가스로 가득 차 있습니다. 단순한 사용자 인터페이스와 터치스크린 디스플레이 (Touch Screen Display) 를 통해 설계되었으며, 매개변수를 빠르고 정확하게 조정할 수 있습니다. 기계는 또한 저진동 설계를 가지고 있으며, 진동 감쇠의 필요성을 부분적으로 제거합니다. 사진 정렬, 초점 찾기 및 렌즈 초점 기능은 우수한 패턴 결과를 위해 도구에 통합됩니다. 이 자산은 빠르고 효율적이며, 운영자에게 탁월한 성능과 유연성을 제공합니다. 폭넓은 포토레시스트 (photoresist) 와 호환되며, 다양한 업종의 요구를 충족하도록 설계되었습니다. 즉, photolithography 프로세스를 최적화하고, 처리량을 향상시키며, 탁월한 정밀도를 유지하는 데 이상적인 방법입니다.