판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293767330
URL이 복사되었습니다!
확대하려면 누르십시오
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 향상된 포토 리토 그래피 정밀도, 속도 및 정확성을 가능하게하도록 설계된 정교한 포토 esist 장비입니다. 석판화 (lithographer) 는 최고 수준의 성능과 광석판 처리 과정을 가장 잘 제어합니다. TEL Lithius 시스템은 두 가지 주요 요소, 즉 리소그래피 도구와 포토 esist 단위로 구성됩니다. 석판화 도구 (lithography tool) 는 표적 기판에 패턴을 빠르게 노출, 개발 및 에치하도록 설계되었습니다. 고정밀 모터, 옵틱, 이미지 캡처 및 데이터 기록 시스템이 장착되어 있으며, 300x300mm 크기의 대상 기판을 처리 할 수 있습니다. 포토 esist 기계는 정교한 저항 제제 세트이며, 특정 ACE (Advanced Composition Efficiency) 저항 공정으로, 패턴을 기판으로 노출시키고 전달하는 것을 보장합니다. TOKYO ELECTRON Lithius는 소프트웨어 제품군을 사용하여 프로세스를 정밀 제어합니다. 원하는 이미지를 생성하기 위한 패턴 생성기 (Pattern Generator) 소프트웨어, 노출 매개변수 보정을 위한 노출 소프트웨어 (Exposure Software) 및 전체 리소그래피 프로세스를 관리하고 제어하는 자동 프로세스 (Auto-Process) 소프트웨어가 포함됩니다. 다른 기능에는 오류를 감지하고 수정하는 자동 수정 도구 (auto-correction tool) 와 이미지 데이터 아카이빙 자산 (asset for archiving image data) 이 있습니다. Lithius는 형식 해상도 0.8um을 사용하여 기판을 정확하고 일관되게 처리 할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 각도 노출 (Angled Exposure) 및 회전 노출 (Rotational Exposure) 을 지원하므로 설계 및 제작 프로세스에서 유연성이 향상됩니다. 이 모델은 에너지 효율 (energy efficient) 으로 설계되어 에너지 비용과 전반적인 생산 비용을 절감합니다. 또한 고속 이미징 및 스캐닝 (Scanning) 기술을 활용하여 업데이트 속도를 높이고 처리량을 향상시킵니다. TEL/TOKYO ELECTRON LITHIUS (TELL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 자동 검사를 통해 사용자가 사진 분석 프로세스의 품질을 검토하고 제품이 일관된 품질을 가질 수 있도록 합니다. 전반적으로 TEL 리티 우스 (TEL Lithius) 는 정교한 Photoresist 장비로 석판화가가 최고의 정확성과 정확도를 쉽고 일관되게 달성 할 수 있습니다. 또한 시제품 (Prototyping) 과 운영 (Production) 을 모두 위한 효율적이고 효과적인 처리를 위한 강력한 툴을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다