판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763046
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ID: 293763046
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Coater / Developer system, 12"
(2) Block machines
CIM: SECS
Handler system: Robot (CRA, PRA, (3) IRAM, IRAS)
Factory interface: (5) FOUP
(2) Temperature controllers
(3) Cabinets:
Coater
Resist
Developer
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 제조 세계 최고의 회사 인 TEL이 개발 한 포토 esist 장비입니다. 이 "시스템 '은" 포토마스크' 에서 "웨이퍼 '로" 패턴' 을 옮기는 과정 에 사용 된다. 포토레스 장치 (photoresist unit) 는 극도의 정확성과 일관성을 가진 포토 리토 그래피 프로세스를 수행하는 기계로 구성됩니다. 기계 에는 "로봇 '팔 이 있는데, 이 팔 은 정해진 기판 에 올바른 층 의 광전물질 을 전달 한다. "로봇 '암 은" 포토레시스트' 를 특정 한 위치 와 특정 한 층 두께 에 적용 하도록 "프로그램 '될 수 있다. 또한 photolithography 프로세스를 돕기 위해 다른 화학 물질을 적용합니다. 이 기계 에는 또한 감광 장치 (photoresist) 를 경화 시키는 역할 을 하는 경화 장치 (curing unit) 가 있어서 기판 에 정확 하게 형성 될 수 있다. 이 경화 장치 는 특정 한 온도 에서 광전자 (photoresist) 를 치료 하는 데 사용 될 수 있는데, 광전자 (photoresist) 가 정확 하게 형성 되도록 필요 하다. 또한 TEL 리티우스 (Lithius) 도구는 직원과 환경이 안전하게 유지되도록 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 일련의 광학 센서를 장착하여 스파크 (sparks), 정전기 구축 (build-up), 폴리머 필름 누출 (leaks of polymer film) 과 같은 위험한 조건을 감지합니다. 또한 유해 증기와 먼지로부터 사용자를 보호하기 위한 안전 대책 (Safety Measure) 도 갖추고 있습니다. 기계 자체는 내구성이 뛰어나고 안정적입니다. 이 부품은 모두 고품질 소재 (High Quality Material) 로 제작되었으며, 제조업체는 자산의 정확성과 정확성을 유지하기 위해 상세한 유지 관리 가이드를 제공합니다. TOKYO ELECTRON Lithius는 전문 반도체 제조 산업에 매우 귀중한 도구입니다. 그 정확성과 안전성 (Safety Features) 은 포토리스토그래피 (Photolithography) 과정이 일관되고 정확한 결과를 낳는 반면, 내구성과 신뢰성은 앞으로 몇 년 동안 업계에 계속 서비스를 제공 할 것입니다.
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