판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763045

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TOKYO ELECTRON이라고도하는 TEL에서 만든 고도의 포토 esist 장비입니다. TEL Lithius 시스템은 디스플레이 및 IC (Logic Integrated Circuit) 제조와 같은 다양한 리소그래피 응용 프로그램을위한 도구로 설계되었습니다. 이 단위는 다양한 박막 재료와 포토 esist 제품의 정확한 패턴을 가능하게합니다. 도쿄 일렉트로닉 리티우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 머신에는 여러 가지 고급 기능이 제공되어 다양한 박막 재료를 빠르고 정확하게 패턴화할 수 있습니다. 이 도구에는 동적 초점 제어 (dynamic focus control) 가 장착되어 있어 가능한 가장 높은 패턴화 (patterning) 정확도를 위해 에셋의 초점을 정확하고 빠르게 조정할 수 있습니다. 또한 프로그래밍 가능한 웨이퍼 캐리어 (wafer carrier) 가 특징이며, 사용자가 최소 수동 개입으로 필요한 위치로 웨이퍼를 이동할 수 있습니다. Lithius 모델을 사용할 때 사용자는 두 가지 다른 마스크 유형 중에서 선택할 수 있습니다. 첫 번째 는 작은 "마스크 '로서" 웨이퍼' 의 작은 부분 을 무늬 로 만드는 데 사용 된다. 두 번째는 큰 마스크로, 넓은 영역을 패턴화하는 데 사용할 수 있습니다. 사용자는 단일 (single) 및 다중 (multiple) 노출 주기를 포함한 다양한 노출 습관 중에서 선택할 수 있습니다. 또한, 장비에는 다양한 레이저 전원 (laser power settings) 이 포함되어 있으며, 이를 통해 사용자는 특정 애플리케이션에 필요한 전원 수준을 설정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 다양한 응용 프로그램의 패턴화 성능을 최적화하는 다양한 렌즈 (lens) 옵션을 제공합니다. "렌즈 '크기 와" 디자인' 을 조정 하여 "응용프로그램 '의 특징 의 해상도 를 극대화 할 수 있다. 또한, 사용자는 다양한 조명 소스에서 선택하고 대상 iso-doses를 수집 할 수 있습니다. 이 장치에는 운영자와 사용자를 안전하게 지키는 다양한 안전 기능 (예: 기계의 대기 질과 온도를 모니터링하는 여러 안전 센서 (Safety Sensor)) 이 포함되어 있습니다. 이 도구는 운영자와 사용자가 자산이 안전하지 않은 수준에 도달하는지 알 수 있도록 큰 경고 (Loud Alarm) 를 발산합니다. 마지막으로, 이 모델에는 장비를 최적으로 실행하기 위한 강력한 유지 관리 및 교정 프로그램이 포함되어 있습니다. 전반적으로 텔/도쿄 일렉트로닉 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 박막 재료의 작고 넓은 영역을 빠르고 정확하게 패턴 화 할 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 포토 esist 시스템입니다. 이 장치는 사용자가 초점 조정, 노출 주기 선택, 다양한 렌즈 (lens) 및 조명 설정 (illumination settings) 을 설정할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다. 또한, 이 기계는 운영자의 안전을 보장하기 위해 수많은 안전 기능을 갖추고 있습니다. 궁극적으로 TEL Lithius는 리소그래피 응용 프로그램을위한 매우 직관적이고 신뢰할 수있는 도구입니다.