판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293763044

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 TEL (TOKYO ELECTRON) 에서 설계 및 제조 한 다각도 화상 사진 장치 장비로, 반도체 제조업체가 미세 구조를 정확하게 제작하고 석판 패턴 작업을 수행 할 수 있습니다. 이 "시스템 '은" 레이저' 가 여러 가지 각도 로 표면 을 주사 하고, 정밀도 가 높은 기판 단계 로 기판 위 에 "이미지 '를 투영 함 으로써 작용 한다. 기판 단계 (substrate stage) 는 속도와 방향을 변화시켜 에칭 (etching) 및 패턴 (patterning) 프로세스에 광범위한 매개변수를 사용할 수 있습니다. 그런 다음, 빛에 민감한 포토 esist가 기질에 적용되고, 레이저 빔에서 스캔 된 이미지가 포토 esist에 패턴을 형성합니다. 이 "패턴 '은 원래 의" 렌즈 스캔' 과 함께, 기판 의 특정 부위 를 선택적 으로 에치 하기 위하여 전자 "빔 '과 함께 사용 된다. TEL 리티우스 (Lithius) 장치에는 고해상도 기능이 있어 최대 28 나노미터 크기의 피쳐 패턴을 일관되게 생성할 수 있습니다. 이 극히 훌륭 한 해상도 와 높은 정확도 로, 이 기계 는 "에칭 '과" 패턴화' 과정 을 고도 로 제어 할 수 있다. 또한, 이 도구는 여러 패턴 레벨 (patterning level) 을 가지며, 기판에서 여러 레이어의 구조를 만들 수 있습니다. 이를 통해 레이아웃에서 다양한 수정 (modification) 과 세분화 (refinement) 가 가능하며, 이는 잠재적 인 설계 결함을 해결하는 데 매우 도움이 될 수 있습니다. 도쿄 전자 리티 우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 자산은 반도체 제작에 사용되도록 설계되었지만, 에칭, 사진 분석 또는 코팅 프로세스와 관련된 다양한 응용 분야에도 사용될 수 있습니다. 안전하고 안정적인 이 모델에는 프로세스의 각 단계를 원활하게 실행할 수 있도록 하는 고급 (Advanced) 모니터링 기능도 있습니다. 또한 다른 시스템과의 안전한 통신을 위한 여러 통신 포트 (통신 포트) 와 다른 신뢰할 수 있는 여러 가지 안전 조치 (Safety Measure) 를 갖추고 있습니다. 리티우스 장비 (Lithius equipment) 는 다양한 에칭, 사진 분석 및 코팅 프로세스를 수행하기 위해 믿을 수 없을 정도로 안전하고 안전한 솔루션입니다. 고급 기능, 고해상도 기능, 다양한 안전 기능으로 인해 반도체 제작에 탁월한 소스가 됩니다.