판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293754284

ID: 293754284
빈티지: 2007
System 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 반도체 처리를 위해 설계된 다용도 및 고급 포토 esist 장비입니다. 광학, 전기 및 난방 요소의 배열을 통해 기판 및 기타 장치를 사용자 정의할 수있는 완전한 리소그래피 (lithography) 시스템입니다. Photoresist는 반도체 제조의 일부를 처리하는 데 사용되는 물질입니다. 이 단위는 광저항 층 (photoresist layer) 을 강착시킨 다음 광선 패턴에 노출시켜 작동합니다. 이것은 photoresist의 특정 영역에서 반응을 유발합니다. 이 "패턴 '은 기계 의 여러 가지 광학 원소 에 의해 만들어지며, 이것 은 광전자 가 빛 에 노출 될 때 어떻게 반응 할 것 인지를 결정 한다. TEL Lithius에는 다양한 광학 구성 요소가 장착되어 있습니다. 여기에는 레이저, 렌즈, 셔터 및 기타 광학 구성 요소와 같은 요소가 포함됩니다. 이러한 컴포넌트는 다른 광원 패턴을 생성하는 특정 방법으로 정렬됩니다. "레이저 '는" 포토레지스트' 에 "패턴 '을 만드는 데 사용 된다. 공구에는 프로세스에서 사용되는 전류와 전압을 조절하는 전기 부품 (electrical component) 도 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 가열 요소를 제어할 수 있으며, 포토레지스트 (photoresist) 레이어를 균등하게 가열하고 제어할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 프로세스가 원하는 매개변수 내에서 수행됩니다. 에셋에는 열 전도 컴포넌트 (thermal conduction component) 도 포함되어 있어 프로세스의 각 단계에 대해 원하는 온도를 설정할 수 있습니다. 온도 조절 (Temperature control) 은 반도체 제작의 성공에 중요하며, 이 모델은 모든 프로세스가 원하는 매개변수 내에 유지되도록 도와줍니다. 마지막으로 장비에는 도구 모니터링 시스템이 제공됩니다. 이 장치는 사용자에게 실시간 피드백 (feedback) 을 제공하여 모든 프로세스가 실행되고 있는지 확인합니다. 이것 은 기계 의 전반적 인 효율성 을 향상 시켜 주며, 공정 의 정확도 와 질 을 향상 시키는 데 도움 이 된다. 전반적으로 TOKYO ELECTRON Lithius는 매우 발전된 다목적 포토 esist 도구입니다. 여기에는 성공적이고 효율적인 프로세스를 위해 필요한 모든 구성 요소가 포함됩니다. 사용자는 다양한 구성 요소를 활용하여 기판 (기판) 과 기타 장치를 이전보다 세밀하게 사용자 정의할 수 있습니다.
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