판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293615289

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 포토 esist 재료를 사용하여 DUV (Deep 자외선) 리소그래피를 가능하게하는 석판화 장비입니다. 자외선 리소그래피 (lithography) 응용 분야에 사용될 때 매우 효과적인, 유기 광 광사 (OPR) 라고하는 특수 유형의 광사 시스템을 사용합니다. 이 단위는 특히 작고 복잡한 구조물의 생산에 적합하며, 이는 업계에 존재하며, 이는 최종 제품에서 가장 높은 수준의 정확성 (accurity) 이 필요합니다. 리소그래피 과정에서, 포토 esist 필름은 먼저 UV 광원에 노출된다. 광원은 필름 유형 및 응용 프로그램 (예: DUV 또는 DUV-overlay) 에 의해 정의됩니다. 노출 과정에서, 광저항 분자의 분자가 분해되고 노출 된 분자가 제거된다. 이 프로세스는 photoresist 필름에서 원하지 않는 재료 영역을 제거하고 원하는 패턴을 만들고 필름에 패턴 (pattern-on-film) 을 생성합니다. 그런 다음 TEL Lithius 기계는 패턴 온 필름을 감광 가공소재 (photosensitive workpiece material) 로 정확하게 옮길 수 있습니다. 감광 가공소재는 먼저 고해상도 레이저 (Laser) 에 노출되며, 이는 필름에 대한 패턴을 원하는 기판에 정확하고 정확하게 등록합니다. 그런 다음, 등록 된 패턴 을 기판 으로 옮겨, 원하는 구조 를 요약 한다. TOKYO ELECTRON Lithius (TOKYO ELECTRON Lithius) 도구는 고화질 해상도 스캐닝, 자동 수정, 고성능 에찬트 등의 다단계 응용 프로세스를 통해 필름 상의 패턴 작동의 정확성과 재현성을 보장하기 위해 특별히 설계되었습니다. 이 과정을 통해, 패턴의 정확도와 정밀도가 기판 재료 (기판) 로 전달되어, 재현 가능한 과정을 보장합니다. 정확성, 정확성 및 재현성으로 인해 Lithius 자산은 특히 개발 및 상업용 웨이퍼 제조, 패턴 검증, 수리, 반도체 제조 리소그래피 등 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 모델은 또한 매우 적응력이 있으며, 에칭 (etching), 검사 (inspection) 및 다양한 표면 처리와 같은 다양한 프로세스 및 응용 프로그램을 통해 사용할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 장비를 사용하면 다양한 분야에서 높은 수준의 정확도, 세부 사항 및 재현성을 달성 할 수 있으며, DUV 포토 esist 물질은 다양한 전자 제품 제조 공정에 대해 다양하고 신뢰할 수있는 적용을 제공합니다. 컴팩트한 디자인, 고해상도 (High Resolution), 복잡한 패턴 생성 능력은 사용자에게 리소그래피 기술 (Lithography Technology) 에 양성자 빔을 부여하며, 높은 정도를 가진 제조가 필요한 사람들에게 이상적입니다.