판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293610403

텔/도쿄 전자 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 다양한 고급 리소그래피 응용 분야에서 탁월한 성능을 제공하는 포토 esist 처리 장비입니다. 완전 자동화 및 통합 시스템 (Fully Automated and Integrated System) 기능을 통해 사용자는 포토리스 (photoresist) 재료가 다른 다양한 웨이퍼 구조를 처리하기 위해 단일 도구를 쉽게 구성할 수 있습니다. 이 장치는 NEXTGen (Next Generation Optical Exposure Machine) 을 사용하여 photoresist를 0.4jm 선 및 공간 아래로 향상된 패턴 정밀도를 위해 조절 된 주파수에서 빛에 노출시킵니다. 이 도구는 photomask, stepper 및 scanner를 쉽게 통합하여 장치 및 회로 설계 패턴화에 최적의 유연성을 제공하도록 설계되었습니다. TEL Lithius 의 고급 웨이퍼 처리 (advanced wafer handling) 기능을 통해 로드 포트에서 프로세스로의 원활하고 효율적인 기판 전송이 가능합니다. 이 자산은 우수한 수율 제어 및 비용 효과를 위해 설계되었습니다. 결함 감도에 고급 SUS (Substrate Uniformity Model) 를 사용하고 필드 종속 균일 분산을 최소화하여 수율 제어를 최대화합니다. 또한, 이 장비는 고해상도 이미징을 허용하면서 웨이퍼 (wafer) 가 거의 필요하지 않은 복수의 고급 PR 필름을 사용합니다. TOKYO ELECTRON Lithius의 혁신적인 기능은 웨이퍼 레벨 비용의 최소화를 다룹니다. 단일 석판화 시스템 (Single Lithography System) 은 다양한 프로세스 단계를 처리하고 필름을 저항하여 추가 메인프레임 및 소프트웨어 투자가 필요하지 않도록 설계되었습니다. 또한, 포토리스 스트 (photoresist) 와 에치 (etch) 성분의 효율적인 제어를 결합하여 운영 비용을 최소화합니다. 오랜 역사를 통해 Lithius photoresist 유닛은 고급 석판화 프로세스에 대한 안정적이고, 비용 효율적이며, 효율적인 솔루션을 지속적으로 제공했습니다. 혁신적인 기능과 고급 온보드 시스템 (On-Board System) 은 비용 및 성능 균형을 효과적으로 조정하여 탁월한 수율 제어 및 프로세스 흐름을 보장합니다. 자동화된 통합 머신 (Integrated Machine) 은 여러 투자를 필요로 하지 않으며, 워크로드를 간소화하고, 디바이스 제조를 위한 성능 우위를 조성합니다.