판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595672

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 신뢰할 수있는 전기 특성을 가진 반도체 장치를 생산하도록 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 시스템은 4 개의 모듈식 구성 요소 (기판 홀더, 스캐너, 광원 및 제어 장치) 로 구성됩니다. 기판 보유자는 반도체 웨이퍼를 보유합니다. 조종 된 환경에서 웨이퍼 (wafer) 를 배치하고 회전시키도록 설계되었으며, 웨이퍼 (wafer) 표면의 광선 감광성 광소재 (photoresist material) 의 균일 한 코팅을 보장합니다. 스캐너는 포토 esist 물질을 노출시키는 책임이 있습니다. 그것은 선형 방식으로 웨이퍼를 움직이고 조명 빔의 용량, 편광, 크기, 모양을 정확하게 제어하는 x-y 간트리 (x-y gantry) 가있는 동력 무대로 구성됩니다. 광원은 조명 빔을 생성하고, 강도와 모양을 제어합니다. 일반적으로 사용되는 광원은 레이저 구동 전자 빔입니다. 제어 장치는 장치의 핵심입니다. 전체 photoresist 프로세스를 제어하고 관리하는 책임이 있습니다. 다른 컴포넌트에 대한 정보를 제공하고, 전체 워크플로를 지시하며, 포토레지스트 (photoresist) 재료와 관련된 데이터를 수집합니다. TEL 리티우스 (TEL Lithius) 는 위에서 언급한 기계 부품을 사용하여 높은 수준의 균일성과 신뢰성을 가진 반도체 장치를 생산할 수 있습니다. 이 도구는 매우 복잡한 패턴, 밀도 높은 구조, 심지어 서브 미크론 구조를 생성 할 수 있습니다. 또한, 이 프로세스는 완전히 자동화되어 뛰어난 반복성과 패턴의 균일성을 제공합니다. 전반적으로, TOKYO ELECTRON Lithius는 우수한 전기 특성을 가진 반도체 장치를 생산하는 데 사용되는 안정적이고 효율성이 높은 포토레시스트 자산입니다.