판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293595668

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius
ID: 293595668
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Coater / Developer system, 12" 2006 vintage.
텔/도쿄 일렉트로닉 리티 우스 (TEL/TOKYO ELECTRON Lithius) 는 제조업체가 최소한의 폐기물과 비용 절감으로 표면에 세부 사항을 가져올 수 있도록 설계된 고급 포토 esist 시스템입니다. 자외선 (UV) 및 가시 광선 (VIS) 을 사용하여 GaAs, SiO2, SiN 등을 포함한 다양한 기판에서 복잡한 패턴을 이미지화합니다. 이 시스템은 광원, 광학, 조향 거울, 석판 장치 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 광원은 고출력 UV/Visible (U/V) 레이저로, 파장 해상도가 우수하여 정확도와 충실도가 크게 향상되었으며, 광학은 균일 한 이미지를 투영하도록 설계되었습니다. 고감도, 자동 장치 인 조향 거울 (steering mirror) 은 렌즈에 연결되어 기판에 정확한 패턴 투영을 보장합니다. 광원과 광학이 제대로 구성되면 "포토레지스트 (photoresist) '가" 이미지' 화될 기판에 적용된다. 광저장제는 자외선 (UV) 과 가시광선 (visible light) 에 민감하고 노출 될 때 화학 반응을 겪는 특별한 유형의 화학물질입니다. "레이저 '에" 레지스트' 를 노출 시킨 후 에 원하는 "패턴 '을 개발 하여" 레지스트' 를 청소 하여 원하는 "에치 '패턴 을 남겨 둔다. photolithography 작업에서 TEL Lithius를 사용하면 전통적인 photolithography에 비해 상당한 장점이 있습니다. 보다 빠르고, 정확하며, 기존의 사진술보다 훨씬 높은 해상도 패턴을 투영할 수 있습니다. 또한, 덜 비싸고, 상당히 적은 양의 포토 esist 및 기타 소모품을 사용하며, 포토 esist가 긁히지 않고 증발하기 때문에 훨씬 더 깨끗합니다. 도쿄 일렉트로닉 리티 우스 (TOKYO ELECTRON Lithius) 는 제조업체가 전통적인 사진 해설보다 더 정확하고 경제적으로 기판에 복잡한 패턴을 에치하는 데 사용할 수있는 고성능 포토리스 시스템입니다. 다재다능하고, 신뢰할 수 있으며, 포토리스 (photoresist) 및 기타 소모품 낭비를 최소화하면서 고해상도 패턴을 만들 수 있습니다. 따라서, 그것은 다양한 산업에서 사용되는 복잡한 패턴을 가진 기판의 대량 생산에 이상적인 선택입니다.
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