판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293589532

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 같은 기본 재료에 나노 스케일 구조를 구축하는 데 사용되는 포토 esist 장비입니다. Photoresist는 특정 파장의 빛에 노출 될 때 변하는 고유 한 특성을 갖는 재료입니다. 광원 노출의 파장과 강도를 제어함으로써, 피쳐를 정확하게 정의할 수 있습니다. TEL Lithius는 접촉, 근접 및 오프 축을 포함한 다양한 노출 기술을 사용할 수 있습니다. 접촉 노출 (Contact Exposure) 은 기본 모양이나 오프닝에 사용되며, 근접도와 비축은 복잡한 모양을 패턴화하는 데 더 적합합니다. TOKYO ELECTRON Lithius는 집중 광선을 사용하여 서브 미크론 정확도의 고해상도 패턴화를 제공합니다. 이 시스템은 고출력 광원을 갖춘 정교한 광 장치를 사용합니다. 기계는 고급 레이저 스캐너, 회전하는 다각형 거울, 넓은 줌 범위를 통합합니다. 이것 은 광전자 들 의 정확 한 노출 이 높은 "종횡비 '구조 의 생성 을 가능 케 한다. 또한 Lithius는 오프 축 시프트 보정 (Off-Axis Shift Compensation) 과 같은 고급 프로세스 컨트롤을 통합하여 자동으로 노출 매개변수를 조정하여 오프 축 노출로 인한 공통 해상도 문제를 줄입니다. 또한 이 툴을 사용하면 패턴 자동 정렬 (auto-alignment) 과 자동 노출 제어 (auto-exposure control) 를 통해 웨이퍼 전체에 걸쳐 패턴을 정확하고 일관되게 복제할 수 있습니다. TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 또한 광범위한 포토 esist와 호환되며 반도체, 실리콘, MEMS 및 NEMS 장치, 미세 유체 시스템 등 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 이 자산은 컴팩트하고 유연하며 나노 스케일 구조의 정확한 처리를 제공합니다. 고급 광학 모델, 고급 프로세스 제어 (Advanced Process Control) 및 다양한 포토레시스트와의 호환성을 통합하여 TEL Lithius는 나노 스케일 구조를 만드는 데 이상적인 솔루션입니다.