판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius #293587437

TEL/TOKYO ELECTRON Lithius는 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 포토 esist 장비입니다. 이 제품은 결함이 낮고 환경에 미치는 영향을 최소화하면서 고해상도 (High Resolution) 패턴화 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 이 "시스템 '은 감광 화학 코팅, 즉 감광제 를" 웨이퍼' 에 적용 시켜서 작용 한다. 그런 다음 광전자는 일반적으로 리소그래피 챔버 (lithography chamber) 에 위치한 UV 광원에 노출되어 웨이퍼의 특정 영역을 조사합니다. 빛에 노출 된 영역은 개발자 용액 (developer solution) 에 녹지 않는 반면, 빛에 노출되지 않은 영역은 용해되지 않습니다. 그런 다음, 개발자 "솔루션 '을 사용 하여 빛 에 노출 된" 코우팅' 을 선택적 으로 제거 하여 "웨이퍼 '에 훌륭 한" 패턴' 을 만든다. TEL 리티우스 (TEL Lithius) 장치에는 포토리스 스트 코팅, 노출 및 개발자 솔루션 응용 프로그램이 모두 정확한 시간과 설정에 발생하도록 하는 다양한 프로세스 모듈이 포함되어 있습니다. 이 기계에는 광학적으로 보상 된 CCD 카메라, 편광 필터, 자동 영역 매핑 (automatic zone mapping), 디지털 이미지 처리 소프트웨어 등 다양한 이미징 구성 요소가 포함되어 있습니다. 이러한 모든 컴포넌트는 함께 작동하여 포토리스 (photoresist) 응용 프로그램 및 노출에 대한 프로세스 매개변수가 정확한지 확인합니다. TOKYO ELECTRON Lithius photoresist 도구는 비용 효율뿐만 아니라 신뢰성이 뛰어나도록 설계되었습니다. 자산은 스테인리스 스틸 (Stainless Steel) 부품으로 구성되며, 부식 및 충격 저항성, 리소그래피 챔버 (lithography chamber) 에 도입 될 수있는 입자의 양을 줄이기 위해 고도의 난류 제어 (turbulence control) 로 구성됩니다. 또한, 포토리스 (photoresist) 모델은 고도의 자동화를 특징으로하며 반도체 공정 시스템에 유연한 통합을 제공합니다. 요컨대, Lithius photoresist 장비는 결함이 낮고 환경 영향을 최소화하면서 고해상도, 반복 가능한 패턴 기능을 제공합니다. 이 시스템의 안정적인 구성과 높은 자동화 (automation) 를 통해 안정적이고 비용 효율적인 웨이퍼 처리가 가능합니다.