판매용 중고 TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro #9283145

TEL / TOKYO ELECTRON Lithius Pro
ID: 9283145
Systems 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Lithius Pro는 반도체 집적 회로 및 마이크로 일렉트로닉 장치 제조에 사용되는 고급 포토 esist 장비입니다. 반도체 웨이퍼 생산의 핵심 도구이며, 다양한 재료의 얇은 침전물 (thin deposit) 이나 밀도를 생성하기 위해 사용되며, 이어서 웨이퍼 (wafer) 에서 식각 (etched) 하여 집적 회로를 형성합니다. 이 시스템은 고급 솔-겔 (sol-gel) 기술로 인해 사용자가 더 훌륭한 기능을 만들고 증착과 에칭의 정확도와 해상도를 높일 수 있습니다. 이는 집적 회로에서 더 작고, 더 복잡한 구조와 디자인을 생산하는 데 이상적입니다. 이 장치는 또한 폐쇄 루프 저항 제어 (closed-loop resist control) 를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 시스템 내에서 노출 시간 (exposure time) 및 증기 압력 (vapor pressure) 과 같은 매개변수를 정확하게 제어 할 수 있습니다. TEL Lithius Pro는 코팅, 패턴, 리소그래피 및 치료와 같은 다양한 프로세스에 사용될 수도 있습니다. 코팅 기능에는 스핀 코팅, 공압 스프레이 및 슬롯 다이 시스템이 포함됩니다. 이 도구는 또한 저항층 형성의 정확성을 향상시키는 고급 OMERLOT (Output Mode Electric Resist Layer) 프로세스를 특징으로합니다. 도쿄 전자 리티 우스 프로 (TOKYO ELECTRON Lithius Pro) 는 코팅 및 리소그래피 기능 외에도 기판 재료의 표면을 조작 할 수있는 기능도 포함합니다. 여기에는 산화물 제거, CMP (Chemically Mechanical Polishing) 및 에치 백이 포함됩니다. 이러 한 과정 들 은 모두 반도체 "웨이퍼 '의 표면 지형 을 수정 하는 데 사용 될 수 있으며, 따라서 더 복잡 한 구조 가 형성 될 수 있다. 마지막으로, 자산은 고주파 (high-frequency) 마이크로파를 사용하여 치료 시간을 줄이고 생산 공정과 관련된 비용을 줄이는 고급 치료 모델을 특징으로합니다. 이 경화 장치 는 또한 신속 한 온화 주기 를 갖게 되는데, 이 주기 는 모든 층 이 적절 히 고착 되고, 모양 이 균일 하게 유지 되는 데 도움 이 된다. 전반적으로 리티 우스 프로 (Lithius Pro) 는 반도체 생산의 핵심 도구로 만드는 다양한 기능을 갖춘 강력한 포토 esist 시스템입니다. 고급 코팅 (coating) 및 리소그래피 (lithography) 기능과 표면 지형 제어, 치료 및 기타 기능을 제공하여 점점 더 복잡한 디자인과 회로 구조를 만들 수 있습니다.
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